特許

J-GLOBAL ID：200903042879824010

アライメント装置

発明者： 倉田 俊輔 ,  谷口 芳久
出願人/特許権者： オリンパス株式会社
代理人 (4件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  村松 貞男 ,  風間 鉄也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-158364
公開番号（公開出願番号）：特開2004-096078
出願日： 2003年06月03日
公開日（公表日）： 2004年03月25日
要約：

【課題】アライメントに要する時間を短縮することができるアライメント装置を提供する。【解決手段】設備装置の保持ステージ35上に対象物5を保持し、回転ステージ34を回転させて対象物5の外周縁の位置に応じた検出信号を投光素子と受光素子53により取得し、この検出信号に基づいて対象物5のアライメント基準位置に対するずれを求め、このずれを無くすようにXYθステージ21を移動制御して対象物5を基準位置にアライメントする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

対象物に対して加工又は検査を行う設備装置に設けられ、搬送ロボットにより渡された前記対象物を保持し、かつ前記対象物をXY方向への移動動作と回転方向への回転動作とを行うステージと、 前記ステージの回転動作により回転している前記対象物の外周縁を検出するセンサと、 前記センサにより検出された前記外周縁の位置情報に基づいて前記対象物のアライメント基準位置に対するずれを求め、このずれを補正するように前記ステージを移動制御して前記対象物を前記アライメント基準位置にアライメントするアライメント制御部と、 を具備したことを特徴とするアライメント装置。

IPC (4件)：

H01L21/68 ,  B65G49/07 ,  H01L21/027 ,  H01L21/66

FI (6件)：

H01L21/68 M ,  H01L21/68 K ,  H01L21/68 P ,  B65G49/07 C ,  H01L21/66 G ,  H01L21/30 520A

Fターム (40件)：

4M106AA01 ,  4M106BA01 ,  4M106BA20 ,  4M106CA38 ,  4M106CA39 ,  4M106DB30 ,  4M106DD30 ,  4M106DJ40 ,  5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA08 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031HA08 ,  5F031HA13 ,  5F031HA53 ,  5F031JA05 ,  5F031JA06 ,  5F031JA29 ,  5F031JA34 ,  5F031JA35 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031KA08 ,  5F031KA13 ,  5F031KA14 ,  5F031MA33 ,  5F031PA16 ,  5F046AA18 ,  5F046CD01 ,  5F046CD05 ,  5F046CD06 ,  5F046FC08

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ウェハ位置決め装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-329526   出願人：セイコー精機株式会社
• 特開平3-138957
  
• 吸着テーブル及びそのエレメント
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-275534   出願人：帝国精機株式会社