特許
J-GLOBAL ID：200903042894162147

情報記録媒体用ガラス基板の製造方法

発明者：
中野 洋三

中野 洋三 について

, 
堀坂 環樹

堀坂 環樹 について


出願人/特許権者：
日本板硝子株式会社

日本板硝子株式会社 について


代理人 (1件)： 恩田 博宣 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-256163
公開番号（公開出願番号）：特開2001-084578
出願日： 1999年09月09日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
要約：
【要約】【課題】 ガラス基板表面への付着物の付着及び再付着を抑制し、洗浄後のガラス基板表面の清浄度を向上させることができる情報記録媒体用ガラス基板の製造方法を提供する。【解決手段】 情報記録媒体用ガラス基板は、ガラス基板材料の主表面を研磨した後、洗浄することにより形成される。洗浄はパッドを用い水性溶媒にてガラス基板材料の主表面に対して加圧下にスクラブすることにより行われる。このとき、パッドの圧力をp(g/cm2) 、洗浄時間をt(sec) としたとき、p×tが2000〜15000の範囲となる条件が望ましい。また、水性溶媒はpH8〜12の範囲のものでが好ましい。さらに、水性溶媒は比抵抗が4MΩ・m以上のものが好ましい。加えて、水性溶媒は1ml中に存在する0.5μm以上の径の粒子が100個以下のものが好ましい。
請求項（抜粋）：
ガラス基板材料の主表面を研磨した後、洗浄することにより形成される情報記録媒体用ガラス基板の製造方法であって、前記洗浄は水性溶媒にてガラス基板材料の主表面に対して加圧下に行われることを特徴とする情報記録媒体用ガラス基板の製造方法。
IPC (4件)：
G11B 5/84 ,  B08B 3/04 ,  C03C 23/00 ,  H01L 21/304 644
FI (4件)：
G11B 5/84 Z ,  B08B 3/04 A ,  C03C 23/00 A ,  H01L 21/304 644 Z
Fターム (18件)：
3B201AA03 ,  3B201AB01 ,  3B201BA06 ,  3B201BA08 ,  3B201BA11 ,  3B201BB02 ,  3B201BB92 ,  3B201BB93 ,  3B201CC21 ,  4G059AA09 ,  4G059AB01 ,  4G059AB03 ,  4G059AC30 ,  5D112AA02 ,  5D112AA24 ,  5D112BA03 ,  5D112GA08 ,  5D112GA26
引用特許：
審査官引用 (6件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM