圧電センサ

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：高橋祥泰 , 岩倉民芳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-228398
公開番号（公開出願番号）：特開2006-105964
出願日： 2005年08月05日
公開日（公表日）： 2006年04月20日
要約：

【課題】広い温度範囲で圧電センサの感度のばらつきを抑制することができる圧電センサを提供すること。【解決手段】圧電セラミックスの表面に一対の電極を形成してなる圧電素子と、該上記圧電素子を保持する保持部材とを有する圧電センサである。圧電セラミックスは、下記の要件(a)又は/及び要件(b)を満足する。 (a)-30〜160°Cという特定温度範囲において、熱膨張係数が3.0ppm/°Cppm/°C以上であること (b)-30〜160°Cという特定温度範囲において、焦電係数が400μCm-2K-1以下であること【選択図】なし

請求項（抜粋）：

圧電セラミックスの表面に一対の電極を形成してなる圧電素子と、上記圧電素子を保持する保持部材とを有する圧電センサであって、上記圧電セラミックスは、下記の要件(a)又は/及び要件(b)を満足することを特徴とする圧電センサ。 (a)-30〜160°Cという特定温度範囲において、熱膨張係数が3.0ppm/°C以上であること (b)-30〜160°Cという特定温度範囲において、焦電係数が400μCm-2K-1以下であること

IPC (7件)：

G01H 17/00 , G01L 1/16 , H01L 41/08 , H01L 41/187 , H01L 41/24 , H01L 41/22 , C04B 35/00

FI (7件)：

G01H17/00 B , G01L1/16 A , H01L41/08 Z , H01L41/18 101J , H01L41/22 A , H01L41/22 Z , C04B35/00 J

Fターム (24件)：

2G064AA14 , 2G064AB01 , 2G064AB02 , 2G064AC22 , 2G064BA07 , 2G064BA08 , 2G064BD18 , 4G030AA02 , 4G030AA03 , 4G030AA04 , 4G030AA20 , 4G030AA21 , 4G030AA42 , 4G030BA10 , 4G030BA11 , 4G030CA01 , 4G030CA02 , 4G030CA08 , 4G030GA01 , 4G030GA08 , 4G030GA14 , 4G030GA17 , 4G030GA20 , 4G030GA27

引用特許：

出願人引用 (2件)

圧電セラミックス素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-082329 出願人：永田邦裕
圧電素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-247534 出願人：株式会社ユニシアジェックス, フルウチ化学株式会社

審査官引用 (5件)

特許第3238492号
特許第3531803号
特許第3238492号

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