特許
J-GLOBAL ID：200903042909643333
投影レンズの収差測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 明夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-085042
公開番号（公開出願番号）：特開平10-284368
出願日： 1997年04月03日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：
【要約】【課題】レンズの結像特性を改善して、集積回路パターンの精度を向上する。【解決手段】光軸方向の互いに異なる複数の位置におけるマスクパターン投影像の光学像強度分布から、位相回復の手法を用いて投影レンズの収差を求め、この情報を用いて、上記投影レンズやマスクパターンの形状を調整する。【効果】投影レンズの収差を正確に測定することができ、得られるパターンの精度と均一性が大幅に向上する。
請求項（抜粋）：
所定のパターンを有するマスクを光で照明して、上記パターンを投影レンズによって上記マスクの結像面近傍に結像させ、光軸に垂直で上記結像面近傍の複数の平面における上記パターンの投影像の光強度分布をそれぞれ測定し、上記複数の平面における投影像光強度分布から、位相回復法によって上記結像面付近もしくは上記投影レンズの瞳付近の光学像複素振幅分布を求め、当該光学像複素振幅分布から上記投影レンズの波面収差を求めることを特徴とする投影レンズの収差測定方法。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G02B 3/00
, G02B 13/00
H01L 21/30 515 D
, G02B 3/00 Z
, G02B 13/00
, H01L 21/30 502 W
, H01L 21/30 516 A
