特許
J-GLOBAL ID：200903042919731141

スラリー混合供給装置及びスラリー混合供給方法

発明者：
爾見 聡

爾見 聡 について

, 
川崎 政人

川崎 政人 について


出願人/特許権者：
エム・エフエスアイ株式会社

エム・エフエスアイ株式会社 について


代理人 (1件)： 近藤 利英子 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-174059
公開番号（公開出願番号）：特開2003-071720
出願日： 2002年06月14日
公開日（公表日）： 2003年03月12日
要約：
【要約】【課題】 複数の液体を高精度の比率で混合した、劣化のない良好な状態のスラリーを化学機械研磨装置へと適確に供給するスラリーの混合供給装置の提供。【解決手段】 化学機械研磨装置に、少なくとも砥粒微粒子分散液と添加剤溶液とを含む各液が所望する混合比率で含まれるスラリーを供給するためのスラリー混合供給装置において、各液を夫々に吸引するための各液に対応した数の吸引口と、化学機械研磨装置へとスラリーを供給するための排出口とを有し、各吸引口から排出口に至る各液の供給経路に、各吸引口から各液を上記混合比率になる特定量で吸引し、吸引した各液を排出口側へと吐出させるための供給用ポンプが夫々配置され、且つ、夫々の供給用ポンプの吐出側供給経路にダンパー及び加圧弁が併設されているスラリー混合供給装置、及びスラリー混合供給方法。
請求項（抜粋）：
化学機械研磨装置に、少なくとも砥粒微粒子分散液と添加剤溶液とを含む各液が所望する混合比率で含まれるスラリーを供給するためのスラリー混合供給装置において、上記各液を夫々に吸引するための各液に対応した数の吸引口と、上記化学機械研磨装置へとスラリーを供給するための排出口とを有し、上記各吸引口から排出口に至る各液の供給経路に、各吸引口から各液を上記混合比率になる特定量で吸引し、吸引した各液を上記排出口側へと吐出させるための供給用ポンプが夫々配置され、且つ、夫々の供給用ポンプの吐出側供給経路にダンパー及び加圧弁が併設されていることを特徴とするスラリー混合供給装置。
IPC (6件)：
B24B 57/02 ,  B01F 3/08 ,  B01F 15/02 ,  B01F 15/04 ,  B24B 37/00 ,  H01L 21/304 622
FI (6件)：
B24B 57/02 ,  B01F 3/08 Z ,  B01F 15/02 A ,  B01F 15/04 D ,  B24B 37/00 K ,  H01L 21/304 622 E
Fターム (18件)：
3C047FF08 ,  3C047GG15 ,  3C058AA07 ,  3C058AC04 ,  3C058CB03 ,  3C058DA17 ,  4G035AB36 ,  4G035AE02 ,  4G035AE08 ,  4G035AE13 ,  4G037AA02 ,  4G037AA18 ,  4G037BA01 ,  4G037BB01 ,  4G037BC02 ,  4G037BD01 ,  4G037DA14 ,  4G037EA01
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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