特許
J-GLOBAL ID：200903042927747405
感放射線性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 俊一郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-040301
公開番号（公開出願番号）：特開2003-241372
出願日： 2002年02月18日
公開日（公表日）： 2003年08月27日
要約：
【要約】【課題】めっきの高さ以上の感放射線性樹脂組成物塗膜が形成でき、かつ高い解像性を有する感放射線性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】感放射線性樹脂組成物は、(A)カルボキシル基を有するラジカル重合性化合物(a)に由来する構成単位を1〜40重量%、フェノール性水酸基を有するラジカル重合性化合物(b-1)または共重合体合成後にフェノール性水酸基に変換できる官能基を有するラジカル重合性化合物(b-2)に由来するフェノール性水酸基を有する構成単位を1〜50重量%含有し、残分が他のラジカル重合性化合物(c)に由来する構成単位である共重合体100重量部に対し、(d)エポキシ基を有するラジカル重合性化合物0.1〜20重量部を反応せしめて得られる不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂、(B)少なくとも1個のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物、および(C)放射線ラジカル重合開始剤を含有する。
請求項（抜粋）：
(A)カルボキシル基を有するラジカル重合性化合物(a)に由来する構成単位を1〜40重量%、フェノール性水酸基を有するラジカル重合性化合物(b-1)または共重合体合成後にフェノール性水酸基に変換できる官能基を有するラジカル重合性化合物(b-2)に由来するフェノール性水酸基を有する構成単位を1〜50重量%含有し、残分が前記化合物(a)、(b-1)、(b-2)および下記化合物(d)以外の他のラジカル重合性化合物(c)に由来する構成単位である共重合体100重量部に対し、(d)エポキシ基を有するラジカル重合性化合物0.1〜20重量部を反応せしめて得られる不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂、(B)少なくとも1個のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物、および(C)放射線ラジカル重合開始剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/027 515
, C08F290/12
, H01L 21/027
G03F 7/027 515
, C08F290/12
, H01L 21/30 502 R
2H025AA02
, 2H025AA10
, 2H025AA16
, 2H025AB16
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC13
, 2H025BC53
, 2H025BC74
, 2H025BC85
, 2H025BC86
, 2H025CA00
, 2H025FA43
, 4J027AA02
, 4J027BA04
, 4J027BA07
, 4J027BA08
, 4J027BA10
, 4J027BA11
, 4J027BA12
, 4J027BA13
, 4J027BA14
, 4J027BA15
, 4J027BA19
, 4J027BA20
, 4J027BA23
, 4J027BA24
, 4J027BA26
, 4J027BA27
, 4J027BA29
, 4J027CB10
, 4J027CD08
, 4J027CD10
