特許
J-GLOBAL ID：200903009901429017

感放射線性樹脂組成物、バンプ形成用および配線形成用材料ならびにドライフィルムレジスト

発明者：
廣瀬 浩一

廣瀬 浩一 について

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道野 善行

道野 善行 について

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木村 徹

木村 徹 について

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板井 信吾

板井 信吾 について

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大田 利幸

大田 利幸 について

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横山 泰明

横山 泰明 について

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佐藤 穂積

佐藤 穂積 について


出願人/特許権者：
ジェイエスアール株式会社

ジェイエスアール株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-209235
公開番号（公開出願番号）：特開2000-039709
出願日： 1998年07月24日
公開日（公表日）： 2000年02月08日
要約：
【要約】【解決手段】 (A)(a)カルボキシル基を有するラジカル重合性化合物に由来する構成単位、(b)フェノール性水酸基を有するラジカル重合性化合物に由来する構成単位、(c)他のラジカル重合性化合物に由来する構成単位からなるアルカリ可溶性を有する共重合体、(B)少なくとも1個のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物、および(C)放射線ラジカル重合開始剤、を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【効果】 バンプ形成用および配線形成用材料として好適な感放射線性樹脂組成物を提供する。
請求項（抜粋）：
(A)(a)カルボキシル基を有するラジカル重合性化合物に由来する構成単位、(b)フェノール性水酸基を有するラジカル重合性化合物に由来する構成単位、(c)他のラジカル重合性化合物に由来する構成単位からなるアルカリ可溶性を有する共重合体、(B)少なくとも1個のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物、および(C)放射線ラジカル重合開始剤、を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (6件)：
G03F 7/027 502 ,  C08F 2/44 ,  C08F291/06 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/033 ,  H05K 3/18
FI (6件)：
G03F 7/027 502 ,  C08F 2/44 C ,  C08F291/06 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/033 ,  H05K 3/18 D
Fターム (103件)：
2H025AA00 ,  2H025AA02 ,  2H025AA14 ,  2H025AA16 ,  2H025AB00 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AC04 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AD01 ,  2H025BC31 ,  2H025BC51 ,  2H025CA00 ,  2H025CA18 ,  2H025CA23 ,  2H025CB09 ,  2H025CB10 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB15 ,  2H025CB16 ,  2H025CB17 ,  2H025CB43 ,  2H025CB45 ,  2H025CB47 ,  2H025CB52 ,  2H025FA17 ,  4J011QA03 ,  4J011QA06 ,  4J011QA07 ,  4J011QA08 ,  4J011QA12 ,  4J011QA13 ,  4J011QA15 ,  4J011QA17 ,  4J011QA18 ,  4J011QA22 ,  4J011QA23 ,  4J011QA34 ,  4J011RA03 ,  4J011RA04 ,  4J011RA10 ,  4J011RA11 ,  4J011RA12 ,  4J011RA15 ,  4J011SA90 ,  4J011TA01 ,  4J011TA08 ,  4J011UA01 ,  4J011UA06 ,  4J011VA04 ,  4J011WA01 ,  4J026AA17 ,  4J026AA20 ,  4J026AA24 ,  4J026AA25 ,  4J026AA33 ,  4J026AA38 ,  4J026AA43 ,  4J026AA45 ,  4J026AA48 ,  4J026AA49 ,  4J026AA50 ,  4J026AA53 ,  4J026AA55 ,  4J026AA67 ,  4J026AA68 ,  4J026AA69 ,  4J026AA76 ,  4J026AC23 ,  4J026AC33 ,  4J026BA27 ,  4J026BA28 ,  4J026BA29 ,  4J026BA30 ,  4J026BA31 ,  4J026BA32 ,  4J026BA36 ,  4J026BA40 ,  4J026BA50 ,  4J026BB01 ,  4J026BB02 ,  4J026DA02 ,  4J026DA08 ,  4J026DA12 ,  4J026DA14 ,  4J026DA15 ,  4J026DB06 ,  4J026DB11 ,  4J026DB15 ,  4J026DB29 ,  4J026DB30 ,  4J026DB32 ,  4J026DB36 ,  4J026GA07 ,  4J026GA08 ,  5E343CC61 ,  5E343DD32 ,  5E343ER12 ,  5E343ER16 ,  5E343ER18 ,  5E343GG08
引用特許：
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (11件)
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