特許
J-GLOBAL ID：200903009315213986
光学式変位検出装置および方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡部 敏彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-074562
公開番号（公開出願番号）：特開2003-279385
出願日： 2003年03月18日
公開日（公表日）： 2003年10月02日
要約：
【要約】【課題】 使用される光源の波長より大きいおよび未満の両方の格子周期に適用可能であって、少なくとも動的ヨーとピッチミスアライメントを含む各種パラメータの変動に対して不感知である光学式変位検出装置を提供する。【解決手段】 2つのスプリット光ビーム401aおよび401bがスケール格子430上の第1ゾーン431に向けて導かれ、回折される。そして、2つの回折光ビーム402aおよび402bが再帰反射器440,441によって2つの再帰反射ビーム402arおよび402brとして、それぞれの光路に沿ってスケール格子430上の第2ゾーン432に向けて再帰反射され、回折される。これにより、生じた2つの後の回折光ビーム403aおよび403bが第2ゾーン432から共有ゾーン450に導かれ、共有ゾーン450から生じる少なくとも1つの照明特性が光検出器460によって検出される。
請求項（抜粋）：
測定軸に沿って形成された格子を有するスケールの前記測定軸に沿った相対変位を測定するための光学式変位検出装置であって、スプリット光ビーム入力部と、2つ以上の光ビーム指向要素と、2つ以上の再帰反射要素と、光検出器とを備え、前記スプリット光ビーム入力部は、2つのスプリット光ビームをそれぞれの光路に沿って入力するように位置決めされ、前記2つ以上の光ビーム指向要素は、2つのスプリット光ビームをそれぞれの光路に沿って受け入れ、前記2つのスプリット光ビームをそれぞれの収束光路に沿って前記スケール格子上の第1ゾーンに向けて導くように位置決めされ、前記2つのスプリット光ビームは、第1ゾーンから、前記2つ以上の再帰反射器に入るように分岐するそれぞれの光路に沿って2つの回折光ビームを生じ、前記2つ以上の再帰反射要素は、前記第1ゾーンからの2つの回折光ビームを受け入れ、2つの再帰反射された光ビームをそれぞれの収束光路に沿って前記スケール格子上の第2ゾーンに向けて再帰反射するように位置決めされ、前記2つの再帰反射された光ビームは、第2ゾーンからのそれぞれの光路に沿って2つの後の回折光ビームを生じ、前記それぞれの光路はそれぞれの光ビーム指向要素によって受け入れられるように分岐し、共有ゾーンに入るように導かれ、前記光検出器は、前記共有ゾーンから生じる少なくとも1つの照明特性を検出し、該検出された少なくとも1つの照明特性は前記スケールの相対変位を求めるのに使用されることを特徴とする光学式変位検出装置。
IPC (3件)：
G01D 5/38
, G01B 11/00
, G01B 11/26
G01D 5/38 A
, G01B 11/00 G
, G01B 11/26 G
2F065AA02
, 2F065AA09
, 2F065AA14
, 2F065AA20
, 2F065AA39
, 2F065BB02
, 2F065BB03
, 2F065BB18
, 2F065DD02
, 2F065DD03
, 2F065DD11
, 2F065FF16
, 2F065FF17
, 2F065FF18
, 2F065FF41
, 2F065FF48
, 2F065FF52
, 2F065GG06
, 2F065JJ01
, 2F065JJ05
, 2F065JJ15
, 2F065LL12
, 2F065LL16
, 2F065LL28
, 2F065LL33
, 2F065LL34
, 2F065LL36
, 2F065LL37
, 2F065LL42
, 2F065LL46
, 2F065PP12
, 2F065PP13
, 2F065QQ25
, 2F065UU07
, 2F103BA37
, 2F103BA43
, 2F103CA03
, 2F103CA04
, 2F103CA08
, 2F103DA01
, 2F103DA12
, 2F103DA13
, 2F103EA05
, 2F103EA15
, 2F103EB02
, 2F103EB16
, 2F103EB32
, 2F103EC03
, 2F103EC11
, 2F103EC12
, 2F103EC13
, 2F103EC14
, 2F103EC15
, 2F103FA12
