特許

J-GLOBAL ID：200903042958304374

静電チャック

発明者： 都丸 一彦 ,  米山 勉 ,  半田 隆一
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-146520
公開番号（公開出願番号）：特開平10-335439
出願日： 1997年06月04日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 ウエハ裏面の凹凸部との密着性が良く、ウエハの温度を均一に保つことができ、優れた冷却性能を維持し且つダストの発生が少ない静電チャック。【解決手段】 金属基板上にシリコーンゴムからなる第1絶縁層と、該第1絶縁層上に電極として形成された導電性パターンと、該導電性パターン上に表面にシボ模様が形成されたシリコーンゴムからなる第2絶縁層が設けられてなる静電チャック。

請求項（抜粋）：

金属基板上にシリコーンゴムからなる第1絶縁層と、該第1絶縁層上に電極として形成された導電性パターンと、該導電性パターン上に表面にシボ模様が形成されたシリコーンゴムからなる第2絶縁層が設けられてなることを特徴とする静電チャック。

IPC (5件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/265 ,  H01L 21/3065

FI (5件)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/265 603 D ,  H01L 21/302 B

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭59-064245
  
• 温度サイクル動作型セラミツク静電式チヤツク
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-080760   出願人：インターナシヨナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイシヨン
• 改良されたウエハ温度均一性を有する静電チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-176416   出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション