特許
J-GLOBAL ID:200903042968046438

容器入り分散液

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人池内・佐藤アンドパートナーズ
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-350476
公開番号(公開出願番号):特開2008-163054
出願日: 2006年12月26日
公開日(公表日): 2008年07月17日
要約:
【課題】有機高分子材料製の容器を用いて長期間保存した後の研磨でも、被研磨物のスクラッチを低減することができる容器入り分散液とこれを用いた研磨液キット、及び分散液保存方法を提供する。【解決手段】容器と、前記容器に充填された、研磨材粒子の分散液とを含む容器入り分散液であって、前記容器の少なくとも内壁部は、有機高分子材料で構成され、前記有機高分子材料は、融点60°C以下の添加剤の含有量が500重量ppm以下である容器入り分散液とする。【選択図】なし
請求項(抜粋):
容器と、前記容器に充填された、研磨材粒子の分散液とを含む容器入り分散液であって、 前記容器の少なくとも内壁部は、有機高分子材料で構成され、 前記有機高分子材料は、融点60°C以下の添加剤の含有量が500重量ppm以下である容器入り分散液。
IPC (3件):
C09K 3/14 ,  B24B 37/00 ,  H01L 21/304
FI (3件):
C09K3/14 550D ,  B24B37/00 H ,  H01L21/304 622D
Fターム (6件):
3C058AA07 ,  3C058CB03 ,  3C058CB04 ,  3C058DA02 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17
引用特許:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (1件)

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