特許
J-GLOBAL ID:200903085655513540

容器入り研磨材粒子分散液

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 細田 芳徳
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-325158
公開番号(公開出願番号):特開2006-130638
出願日: 2004年11月09日
公開日(公表日): 2006年05月25日
要約:
【課題】保管期間に依存せず、長期間保管した後の研磨でも被研磨物のナノスクラッチを顕著に低減することができる容器入り研磨材粒子分散液及び該容器入り研磨材粒子分散液を含む研磨液キットを提供すること。【解決手段】容器内の壁面の全面積に対する研磨材粒子分散液の接液面積の比(接液面積)/(容器内の全壁面面積)が0.85以上である容器入り研磨材粒子分散液、並びに該容器入り研磨材粒子分散液と酸及び/又はその塩とから構成される研磨液キット。【選択図】なし
請求項(抜粋):
容器内の壁面の全面積に対する研磨材粒子分散液の接液面積の比 (接液面積)/(容器内の全壁面面積) が0.85以上である容器入り研磨材粒子分散液。
IPC (1件):
B24B 37/00
FI (1件):
B24B37/00 H
Fターム (5件):
3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058AC04 ,  3C058CB02 ,  3C058DA17
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • 研磨液組成物
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2001-133650   出願人:花王株式会社
審査官引用 (13件)
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