特許
J-GLOBAL ID：200903042974723964
高速垂直共振器面発光レーザー
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奥山 尚一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-229933
公開番号（公開出願番号）：特開2002-094180
出願日： 2001年07月30日
公開日（公表日）： 2002年03月29日
要約：
【要約】【課題】 高速動作可能な垂直共振器面発光レーザーを実現する。【解決手段】 垂直共振器面発光レーザー(VCSEL)において、導体部分(180)、導体部分、内側部および外側部を画定する開口画定面を備えた絶縁部分(240)、および、絶縁部分を形成させるために、および絶縁部分の外側部から内側部である絶縁部分を絶縁するためにトレンチ(102)を有する絶縁化可能材料層(188)とを含むようにする。
請求項（抜粋）：
垂直共振器面発光レーザー(VCSEL)において、面を備えた上部反射鏡構造と、光発生部と、前記上部反射鏡構造に向けて光を反射する下部反射鏡構造と、前記上部反射鏡構造の面とほぼ同一平面に配置された面を備えた半導体部と、前記上部反射鏡構造と前記下部反射鏡構造の少なくとも一方に配置された絶縁化可能材料からなる層とを備えており、前記絶縁化可能材料からなる層は、導体部と、前記導体部、内側部および外側部を画定するための開口画定面を備えた絶縁部と、前記絶縁部を形成するため、および前記絶縁部の前記外側部から前記絶縁部の内側部を分離するために、前記絶縁部に隣接して、VCSELの寄生容量を小さくするために連続的な形状を有する単一のトレンチとを有する絶縁化可能材料層である、垂直共振器面発光レーザー。
Fターム (12件)：
5F073AA74
, 5F073AB17
, 5F073AB28
, 5F073BA02
, 5F073CA04
, 5F073CA05
, 5F073CA06
, 5F073CA13
, 5F073CB22
, 5F073DA14
, 5F073DA21
, 5F073EA14
