特許
J-GLOBAL ID:200903043015838600
感光性組成物
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
古谷 信也
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-142457
公開番号(公開出願番号):特開2008-298880
出願日: 2007年05月29日
公開日(公表日): 2008年12月11日
要約:
【課題】焼成して得られる焼成物パターン成形物が鉛を含まず、発泡無く、高精細であり、良好な密着性、寸法安定性を有する焼成物パターン成形物を形成することができる無機微粒子分散安定性に優れた感光性組成物を提供する。【解決手段】トリアルコキシシリル基を有する(メタ)アクリル酸エステル(1)から導かれる繰り返し単位を含有し、かつアルカリ可溶性の共重合体(2)に、分子中にエチレン性炭素-炭素二重結合を有してもよいトリアルコキシシラン化合物(3)を共縮合してなるシルセスキオキサン含有化合物(A)、金属微粒子及び/又は金属酸化物微粒子(B)、並びに、光重合開始剤(C)を含有することを特徴とする感光性組成物、それを使用した焼成物パターン成形物、パターンを形成する方法。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
トリアルコキシシリル基を有する(メタ)アクリル酸エステル(1)から導かれる繰り返し単位を含有し、かつアルカリ可溶性の共重合体(2)に、分子中にエチレン性炭素-炭素二重結合を有してもよいトリアルコキシシラン化合物(3)を共縮合してなるシルセスキオキサン含有化合物(A)、
金属微粒子及び/又は金属酸化物微粒子(B)、並びに、
光重合開始剤(C)
を含有することを特徴とする感光性組成物。
IPC (6件):
G03F 7/075
, C08F 299/08
, G03F 7/038
, G03F 7/004
, H01J 11/02
, H01J 9/02
FI (6件):
G03F7/075 511
, C08F299/08
, G03F7/038 501
, G03F7/004 501
, H01J11/02 B
, H01J9/02 F
Fターム (81件):
2H025AA14
, 2H025AB15
, 2H025AB17
, 2H025AC01
, 2H025AC04
, 2H025AC05
, 2H025AC06
, 2H025AC08
, 2H025BC32
, 2H025BC42
, 2H025CA01
, 2H025CA28
, 2H025CA48
, 2H025CC08
, 2H025CC09
, 2H025FA17
, 2H025FA29
, 4J127AA03
, 4J127AA04
, 4J127AA06
, 4J127BA041
, 4J127BB041
, 4J127BB081
, 4J127BB091
, 4J127BB221
, 4J127BC031
, 4J127BC041
, 4J127BC061
, 4J127BC151
, 4J127BD061
, 4J127BD321
, 4J127BD331
, 4J127BE11X
, 4J127BE111
, 4J127BE33X
, 4J127BE331
, 4J127BE59X
, 4J127BE59Y
, 4J127BE591
, 4J127BF71Y
, 4J127BF711
, 4J127BG04X
, 4J127BG041
, 4J127BG05X
, 4J127BG051
, 4J127BG16X
, 4J127BG161
, 4J127BG17X
, 4J127BG17Y
, 4J127BG171
, 4J127BG38Y
, 4J127BG381
, 4J127CA01
, 4J127DA06
, 4J127DA61
, 4J127FA17
, 4J127FA38
, 5C027AA02
, 5C027AA10
, 5C040FA10
, 5C040GC05
, 5C040GC06
, 5C040GC18
, 5C040GC19
, 5C040GH07
, 5C040JA02
, 5C040JA12
, 5C040JA15
, 5C040JA22
, 5C040KA01
, 5C040KA04
, 5C040KA05
, 5C040KA14
, 5C040KA16
, 5C040KA17
, 5C040KB14
, 5C040KB28
, 5C040KB29
, 5C040MA23
, 5C040MA24
, 5C040MA30
引用特許:
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