特許
J-GLOBAL ID：200903043044282824
テープ拡張装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
小野 尚純
, 奥貫 佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-319775
公開番号（公開出願番号）：特開2008-135513
出願日： 2006年11月28日
公開日（公表日）： 2008年06月12日
要約：
【課題】個々のデバイスに分割されたウエーハが貼着された粘着テープを拡張することにより各デバイス間に所定の間隔を設け、この間隔を維持することができるテープ拡張装置の提供。【解決手段】粘着テープを拡張してデバイス間に所定の間隔を設けると共に間隔を維持するテープ拡張装置であって、環状のフレーム3を保持するフレーム保持手段31と、環状のフレーム3の内径より小さくウエーハの外径より大きい押圧部材40と、押圧部材40とフレーム保持手段31を軸方向に相対移動する移動手段とを具備する張力付与手段と、押圧部材40に着脱可能に支持されウエーハ10の外径より大きい内径を有する第1のリング51と、第1のリング51の外径より僅かに大きい内径を有するとともに環状のフレーム3の内径より小さい外径を有する第2のリング52と、第1のリング51と第2のリング52を粘着テープを挟んで嵌合せしめるリング嵌合手段とを具備している。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
格子状に形成された複数の分割予定ラインに沿って個々のデバイスに分割されたウエーハが環状のダイシングフレームに装着された粘着テープの表面に貼着されており、該粘着テープを拡張して該デバイス間に所定の間隔を設けるとともに該間隔を維持するテープ拡張装置において、
該環状のフレームを保持するフレーム保持手段と、
該環状のフレームの内径より小さく該粘着テープに貼着されたウエーハの外径より大きい外径を有する押圧部材と、該押圧部材と該フレーム保持手段を軸方向に相対移動する移動とを具備する張力付与手段と、
該押圧部材に着脱可能に支持され該ウエーハの外径より大きい内径を有する第1のリングと、
該第1のリングの外径より僅かに大きい内径を有するとともに該環状のフレーム3の内径より小さい外径を有する第2のリングと、
該第1のリングと該第2のリングを該粘着テープを挟んで嵌合せしめるリング嵌合手段と、を具備している、
ことを特徴とするテープ拡張装置。
IPC (2件)：
H01L 21/301
, H01L 21/683
H01L21/78 W
, H01L21/68 N
5F031CA02
, 5F031CA13
, 5F031HA78
, 5F031MA34
, 5F031MA35
, 5F031PA09
, 5F031PA20
, 5F031PA30
出願人引用 (1件)
審査官引用 (8件)
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