特許

J-GLOBAL ID：200903043099033084

化学的機械研磨システムのためのエンドポイント検出器

発明者： ビラング マヌーチェア
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-306292
公開番号（公開出願番号）：特開平10-177976
出願日： 1997年10月02日
公開日（公表日）： 1998年06月30日
要約：

【要約】【解決手段】 基板研磨装置用の終点検出器は、基板からの瞬間的な材料除去速度を示す信号を積分する。この信号は、トルクや消費電流などのモータパラメタを測定するモニタによって生成される。得られる合計値を、所望の研磨をもたらすことが分かっている基線合計値と比較して、研磨終点を予測する。

請求項（抜粋）：

研磨面、基板を前記研磨面に接触させて位置決めする位置決め部材、および前記研磨面と前記基板との間の相対運動を生じさせるモータ、を有する化学機械研磨装置用の終点検出器であって、前記モータに入力される電力を測定し、この入力電力を表す出力信号を生成するモニタと、前記出力信号をある時間にわたって合計するアキュムレータと、この合計を所定の合計と比較して、終点状態に達した時点を示すコンパレータと、を備える終点検出器。

IPC (2件)：

H01L 21/304 321 ,  B24B 37/04

FI (2件)：

H01L 21/304 321 M ,  B24B 37/04 D

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平1-289656
  
• 半導体装置とその製造方法および研磨方法ならびに研磨装置および研磨装置の研磨面の再生方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-284118   出願人：株式会社東芝
• 研磨方法及び研磨装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-339792   出願人：株式会社東芝
• 特開平1-289656