特許
J-GLOBAL ID:200903043132794606
プリアプライド用封止樹脂組成物及びそれを用いた半導体装置の製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
速水 進治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-159900
公開番号(公開出願番号):特開2006-335817
出願日: 2005年05月31日
公開日(公表日): 2006年12月14日
要約:
【課題】 プリアプライド用封止において、封止樹脂組成物をウェハーに塗布してB-ステージ化した場合に樹脂が脆くなるのを防ぎ、ダイシング時に封止樹脂組成物が損傷するのを防ぐことである。【解決手段】 (A)25°Cで液状であり、1分子中にエポキシ基を2個以上含むエポキシ樹脂、(B)25°Cで固体であり、1分子中にエポキシ基を2個以上含むエポキシ樹脂、及び、(C)フラックス活性を有する硬化剤を含むプリアプライド用封止樹脂組成物による。
請求項(抜粋):
(A)25°Cで液状であり、1分子中にエポキシ基を2個以上含むエポキシ樹脂、
(B)25°Cで固体であり、1分子中にエポキシ基を2個以上含むエポキシ樹脂、及び、
(C)フラックス活性を有する硬化剤、
を含むプリアプライド用封止樹脂組成物。
IPC (4件):
C08G 59/62
, H01L 21/60
, H01L 23/29
, H01L 23/31
FI (3件):
C08G59/62
, H01L21/60 311Q
, H01L23/30 R
Fターム (21件):
4J036AD07
, 4J036AD08
, 4J036AD21
, 4J036AF05
, 4J036AF06
, 4J036AF08
, 4J036AH09
, 4J036DB06
, 4J036DB16
, 4J036JA07
, 4J036KA01
, 4M109AA01
, 4M109BA04
, 4M109CA05
, 4M109DB17
, 4M109EA03
, 4M109EB02
, 5F044KK01
, 5F044LL04
, 5F044LL11
, 5F044RR17
引用特許: