特許
J-GLOBAL ID：200903043133172200

ウェハ外観検査装置

発明者：
添田 英樹

添田 英樹 について

, 
窪田 仁志

窪田 仁志 について


出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

株式会社日立ハイテクノロジーズ について


代理人 (1件)： 春日 讓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-038296
公開番号（公開出願番号）：特開2004-245786
出願日： 2003年02月17日
公開日（公表日）： 2004年09月02日
要約：
【課題】非致命欠陥を検出を低減し、目視確認に要する時間を短縮可能なウェハ外観検査装置を提供することにある。【解決手段】ウェハ外観検査装置は、ウェハ104の表面に光を照射する光源106と、光源106によって照射されたウェハからの反射光を検出する検出器であるCCDカメラ102と、ウェハを載置したXYステージ101と、XYステージ101を移動して、ウェハ104上の検査チップ107と比較チップ108の同じポイントからCCDカメラ102によって検出された濃度差が所定のしきい値以上の場合に、欠陥と判定する制御部を有する。波長選択範囲の異なる複数の波長選択フィルタ109の内、パターン正常部分からの検出される輝度と、非致命欠陥から検出される輝度の差が、フィルタを用いない場合に比べて、最も小さくなるフィルタを選択して、光路中に挿入する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
ウェハの表面に光を照射する光源と、この光源によって照射された上記ウェハからの反射光を検出する検出器と、上記ウェハを載置したステージと、このステージを移動して、上記ウェハ上の検査チップと比較チップの同じポイントから上記検出器によって検出された濃度差が所定のしきい値以上の場合に、欠陥と判定する制御部を有するウェハ外観検査装置において、 波長選択範囲の異なる複数の波長選択フィルタを備え、 これらの複数の波長選択フィルタの内、パターン正常部分からの検出される輝度と、非致命欠陥から検出される輝度の差が、フィルタを用いない場合に比べて、最も小さくなるフィルタを選択して、光路中に挿入することを特徴とするウェハ外観検査装置。
IPC (3件)：
G01N21/956 ,  G02B5/00 ,  H01L21/66
FI (3件)：
G01N21/956 A ,  G02B5/00 A ,  H01L21/66 J
Fターム (15件)：
2G051AA51 ,  2G051AB07 ,  2G051BA08 ,  2G051BB07 ,  2G051CA04 ,  2G051DA07 ,  2G051EA08 ,  2G051EA12 ,  2H042AA08 ,  4M106AA01 ,  4M106BA04 ,  4M106CA39 ,  4M106CA41 ,  4M106DB15 ,  4M106DJ27
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (2件)

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