基板搬送装置および、基板処理装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-057071
公開番号（公開出願番号）：特開2000-252345
出願日： 1999年03月04日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：

【要約】【課題】基板を保持して走行する搬送ロボットを有する基板搬送装置では所定領域に障害物があると、走行のために必要な動力供給を停止する安全装置が付いている。ところで、安全装置は解除可能なので誤って安全装置を解除した状態で装置のメンテナンス作業を行うと不用意に基板保持機構が走行して作業者が危険にさらされる虞れがある。【解決手段】そこで本発明では、基板搬送装置の搬送ロボットTRや第1リフタLF1の移動路上に進退する停止機構80Aを備えた。停止機構80Aは軸AX1を中心に回動するストッパ板71Aと、ストッパ板71Aから延びる連結部材72Aと、連結部材72Aの先端部分に延設されているリフタストッパ73Aとを有し、ストッパ板71Aが鉛直方向と平行になる退避姿勢とストッパ板71Aが水平方向と平行になる進出姿勢をとる。進出姿勢時には停止機構80Aによって、搬送ロボットTRや第1リフタLF1が不用意に移動してきてもその移動を妨げることができ、作業者の安全が確保できる。

請求項（抜粋）：

基板を保持して所定の移動路に沿って移動する基板搬送機構と、前記移動路に対して進退可能であるとともに移動路への進出位置において基板搬送機構の移動を停止させる停止部材を有する停止機構とを備えた基板搬送装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , B65G 43/00

FI (2件)：

H01L 21/68 A , B65G 43/00 Z

Fターム (14件)：

3F027AA02 , 3F027DA04 , 3F027EA01 , 3F027EA05 , 3F027FA02 , 5F031CA02 , 5F031FA09 , 5F031GA48 , 5F031GA49 , 5F031GA51 , 5F031HA73 , 5F031JA22 , 5F031LA07 , 5F031PA08

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-256594
旋回型ロボット
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-089085 出願人：日産自動車株式会社
ロボット用安全装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-029181 出願人：株式会社日立製作所

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