特許
J-GLOBAL ID：200903043143610604
洗浄材製造方法及びその製造装置並びにこれを使用する洗浄システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉本 丈夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-350501
公開番号（公開出願番号）：特開2004-181334
出願日： 2002年12月02日
公開日（公表日）： 2004年07月02日
要約：
【課題】基板等の被洗浄部材を良好且つ効果的に洗浄しうる洗浄材の製造方法を提供する。【解決手段】基板等の被洗浄部材をこれに噴射,衝突させることにより洗浄するための洗浄材1は、氷粒子を含む固液共存のシャーベット状をなすものであり、純水とこれより凝固点の低い有機化合物液との混合液を過冷却状態に冷却させ、その冷却された混合液である過冷却液1Bに外力の付与により氷結晶を発生させることによって製造される。過冷却液1Bへの外力付与は、例えば、過冷却液1Bの流動路21に急拡大部21bを設けておくことによって行われる。すなわち、過冷却液1Bが急拡大部21bに流入することによって渦流1Cが発生し、この渦流1Cによって付与される攪拌力により過冷却液1Bの過冷却状態が解消されて、過冷却液1B中の水分の一部又は全部が凝固して氷粒子となる。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
被洗浄部材をこれに噴射,衝突させることにより洗浄するための洗浄材を製造する方法であって、水とこれより凝固点の低い有機化合物液との混合液を過冷却状態に冷却させ、その冷却された混合液である過冷却液に外力の付与により氷結晶を発生させることによって、氷粒子を含む固液共存のシャーベット状をなす洗浄材を得るようにしたことを特徴とする洗浄材製造方法。
IPC (4件)：
B08B7/00
, B08B3/02
, B08B3/10
, C11D7/26
B08B7/00
, B08B3/02 B
, B08B3/10 Z
, C11D7/26
2H088FA21
, 2H088FA30
, 2H088HA01
, 2H090JC19
, 3B116AA01
, 3B116BA06
, 3B116BA14
, 3B116BB22
, 3B116BB82
, 3B116CD01
, 3B201AA01
, 3B201BA06
, 3B201BA14
, 3B201BB22
, 3B201BB82
, 3B201BB93
, 3B201BB95
, 3B201CD01
, 4H003BA01
, 4H003DA15
, 4H003DC04
, 4H003ED02
, 4H003ED28
