特許
J-GLOBAL ID:200903043168348580
カラー液晶表示装置及びその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
藤巻 正憲
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-110195
公開番号(公開出願番号):特開2002-055363
出願日: 2001年04月09日
公開日(公表日): 2002年02月20日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 フォトリソグラフィ工程数を削減し、低コスト化を実現するカラー液晶表示装置及びその製造方法を提供する。【解決手段】 カラー液晶表示装置の製造方法は、基板に第1導電膜によりゲート電極及びゲートバスラインを形成する第1PR工程S101と、ゲート絶縁膜、半導体層、オーミック層、第2導電膜を積層し、薄膜トランジスタのアイランド及びドレインバスラインを形成する第2PR工程S102と、基板上にカラーフィルタを順次形成する第3乃至第5PR工程S103〜S105と、カラーフィルタ上の領域を除く領域に前記遮光膜でブラックマトリクスを形成し、ドレイン電極及びソース電極を形成する第6PR工程S106と、ソース電極を露出するコンタクトホールを開口する第7PR工程S107と、透明電極を形成し、ソース電極に電気的に接続される画素電極を形成する第8PR工程S108とを含む。
請求項(抜粋):
透明絶縁性基板上に薄膜トランジスタ、カラーフィルタ、ブラックマトリクス及び画素電極が形成されたカラーアクティブマトリクス基板を含むカラー液晶表示装置において、前記薄膜トランジスタは、ゲート電極、ゲート絶縁膜、半導体層、オーミック層、一対のソース・ドレイン電極が積層された逆スタガ構造であり、前記半導体層に構成されるチャネル領域上において、前記オーミック層、前記ソース・ドレイン電極及び前記ブラックマトリクスが、前記積層方向から見て同一形状であることを特徴とするカラー液晶表示装置。
IPC (8件):
G02F 1/1368
, G02F 1/1343
, G09F 9/00 342
, G09F 9/30 338
, G09F 9/30 349
, G09F 9/35
, H01L 21/336
, H01L 29/786
FI (8件):
G02F 1/1368
, G02F 1/1343
, G09F 9/00 342 Z
, G09F 9/30 338
, G09F 9/30 349 C
, G09F 9/35
, H01L 29/78 619 B
, H01L 29/78 627 C
Fターム (59件):
2H092JA26
, 2H092JA42
, 2H092JA46
, 2H092JB52
, 2H092MA15
, 2H092MA37
, 2H092MA41
, 2H092NA27
, 2H092PA08
, 2H092PA09
, 5C094AA43
, 5C094AA44
, 5C094BA03
, 5C094BA43
, 5C094CA19
, 5C094CA24
, 5C094EA04
, 5C094EA05
, 5C094EA07
, 5C094EB02
, 5C094ED03
, 5C094ED15
, 5F110AA16
, 5F110BB01
, 5F110CC07
, 5F110DD02
, 5F110EE03
, 5F110EE04
, 5F110EE14
, 5F110FF03
, 5F110FF30
, 5F110GG02
, 5F110GG15
, 5F110GG24
, 5F110GG35
, 5F110HK04
, 5F110HK06
, 5F110HK09
, 5F110HK16
, 5F110HK21
, 5F110HK33
, 5F110HK35
, 5F110HL07
, 5F110NN03
, 5F110NN24
, 5F110NN27
, 5F110NN35
, 5F110NN72
, 5F110QQ04
, 5F110QQ05
, 5F110QQ19
, 5G435AA17
, 5G435BB12
, 5G435CC09
, 5G435CC12
, 5G435GG12
, 5G435KK05
, 5G435KK09
, 5G435KK10
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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