特許
J-GLOBAL ID：200903043180941416

一軸アクチュエータ

発明者：
加藤 達朗

加藤 達朗 について


出願人/特許権者：
住友重機械工業株式会社

住友重機械工業株式会社 について


代理人 (1件)： 後藤 洋介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-156013
公開番号（公開出願番号）：特開2000-346009
出願日： 1999年06月03日
公開日（公表日）： 2000年12月12日
要約：
【要約】【課題】 磁界を発生するおそれの無い一軸アクチュエータを提供すること。【解決手段】 固定側のベース体10と可動側のトッププレート11との間をベローズ12で連結し、前記ベース体に設けられた導入口10aより作動流体を導入することで前記ベローズを伸ばし、圧縮コイルばね13により前記ベローズの復帰力を得るようにした一軸アクチュエータにおいて、前記各構成要素を非磁性材料で構成した。
請求項（抜粋）：
固定側のベース体と可動側のトッププレートとの間をベローズで連結し、前記ベース体に設けられた導入口より作動流体を導入することで前記ベローズを伸ばし、ばね手段により前記ベローズの復帰力を得るようにした一軸アクチュエータにおいて、前記各構成要素を非磁性材料で構成したことを特徴とする一軸アクチュエータ。
IPC (4件)：
F15B 15/10 ,  G03F 7/20 504 ,  H01L 21/027 ,  H01L 41/09
FI (4件)：
F15B 15/10 G ,  G03F 7/20 504 ,  H01L 21/30 541 L ,  H01L 41/08 U
Fターム (17件)：
2H097BA02 ,  2H097BA04 ,  2H097CA16 ,  2H097DB20 ,  2H097LA10 ,  3H081AA17 ,  3H081BB01 ,  3H081BB14 ,  3H081CC29 ,  3H081DD19 ,  3H081DD27 ,  3H081GG05 ,  3H081GG07 ,  3H081HH04 ,  5F056CB25 ,  5F056CB40 ,  5F056DA15
引用特許：
審査官引用 (9件)
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