特許
J-GLOBAL ID:200903043194731040
水晶振動子、水晶振動子の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
上柳 雅誉
, 宮坂 一彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-331339
公開番号(公開出願番号):特開2008-147895
出願日: 2006年12月08日
公開日(公表日): 2008年06月26日
要約:
【課題】良好な振動特性を維持しながら信頼性が高い接合を可能とし、安価な水晶振動子を提供する。【解決手段】水晶振動子1は、振動腕12と振動腕12の平面方向周囲を取り囲む枠部13とを有し、振動腕12の表裏両面に形成されるAuからなる励振電極15a,15bと、励振電極15a,15bから枠部13の表裏両面に延在される接合電極16a,16bとが設けられる水晶振動片11と、接合電極16aに対向する面に接合金属膜25が形成される第1蓋体21と、接合電極16bに対向する面に接合金属膜35が形成される第2蓋体31と、が備えられ、第1蓋体21と第2蓋体31それぞれの接合金属膜25,35の表面が塩素化処理されており、第1蓋体21と水晶振動片11と第2蓋体31とが固体接合されている。【選択図】図1
請求項(抜粋):
振動腕と該振動腕の平面方向周囲を取り囲む枠部とを有し、且つ前記振動腕の表裏両面にAuからなる励振電極が設けられ、前記励振電極から前記枠部の表裏両面に延在される接合電極が設けられる水晶振動片と、
前記接合電極の表面側に対向する面に接合金属膜を有する第1蓋体と、
前記接合電極の裏面側に対向する面に接合金属膜を有する第2蓋体と、が備えられ、
前記第1蓋体と前記第2蓋体それぞれの接合金属膜の表面が塩素化処理されており、
前記第1蓋体と前記水晶振動片と前記第2蓋体が固体接合されていることを特徴とする水晶振動子。
IPC (6件):
H03H 9/02
, H03H 9/10
, H03H 9/19
, H03H 9/215
, H03H 3/02
, H01L 23/02
FI (6件):
H03H9/02 A
, H03H9/10
, H03H9/19 J
, H03H9/215
, H03H3/02 C
, H01L23/02 C
Fターム (17件):
5J108BB02
, 5J108CC06
, 5J108CC11
, 5J108EE03
, 5J108EE07
, 5J108EE13
, 5J108FF11
, 5J108FF12
, 5J108GG03
, 5J108GG15
, 5J108GG16
, 5J108KK02
, 5J108KK03
, 5J108KK04
, 5J108MM02
, 5J108MM04
, 5J108MM14
引用特許:
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