特許

J-GLOBAL ID：200903043244275075

電子顕微鏡の分解能評価方法および電子顕微鏡の調整方法

発明者： 北川 泰治 ,  佐藤 貢 ,  下間 五六 ,  高橋 忠範 ,  吉田 直人 ,  雪井 正幸 ,  二宮 隆典 ,  堀内 立夫 ,  川目 啓介
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-358740
公開番号（公開出願番号）：特開2004-111401
出願日： 2003年10月20日
公開日（公表日）： 2004年04月08日
要約：

【課題】 目視官能評価によらない走査形電子顕微鏡の性能評価を行い、走査形電子顕微鏡の経時変化や個体間の性能差を低減する。【解決手段】 予め寸法の分かっている薄膜層の断面を鏡面加工し、走査形電子顕微鏡像の画像データを取得後、周波数解析等の手段を用いて、走査形電子顕微鏡の性能評価を安定かつ定量的に行う。【選択図】 図17

請求項（抜粋）：

電子顕微鏡の分解能評価方法であって、2次電子または反射電子または透過電子等の2次荷電粒子の発生効率が異なる材料を表面に交互に複数配置して形成した繰返しパターンを有する試料に電子線を照射し、該電子線の照射により前記試料の表面から発生する2次荷電粒子を検出して前記試料の表面の2次荷電粒子像を得、該2次荷電粒子像の波形データをフーリエ変換を用いて周波数解析処理することにより電子顕微鏡の分解能の定量評価を行うことを特徴とする電子顕微鏡の分解能評価方法。

IPC (2件)：

H01J37/24 ,  H01J37/28

FI (3件)：

H01J37/24 ,  H01J37/28 B ,  G01N1/28 F

Fターム (6件)：

2G052AA39 ,  2G052AD52 ,  2G052EC11 ,  2G052GA35 ,  2G052JA08 ,  5C033UU05

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 走査電子顕微鏡の性能評価用試料及びその製作方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-226571   出願人：日本電子株式会社

審査官引用 (2件)

• 電子ビ-ム計測用ナイフエッジ及びその製法並びに電子ビ-ム計測用ナイフエッジを用いた電子ビ-ム計測法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-273040   出願人：日本電信電話株式会社
• 特開平1-254836