ナノ薄膜熱物性測定方法および測定装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：高田幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-254590
公開番号（公開出願番号）：特開2006-071424
出願日： 2004年09月01日
公開日（公表日）： 2006年03月16日
要約：

【課題】数十〜数百ナノメートルオーダーの金属膜あるいは有機膜の薄膜の熱物性測定を容易にかつ簡便に行うことができるナノ薄膜熱物性測定方法および測定装置を提供する。【解決手段】対象励起用パルス光として、tpulse<1/3t1/2でtpulse>1nsで、かつtrep>15t1/2であり、ここで、tpulse:レーザのパルス幅 t1/2:ハーフタイム(レーザフラッシュ法で測定される最大温度上昇の2分の1に達するまでの時間) trep:測定対象励起用パルス光の照射間隔時間としたパルス光を用いる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

測定対象励起用パルス光を薄膜試料に照射し、測定パルス光を該薄膜試料に照射して、前記測定対象励起用パルス光による該薄膜試料の温度変化に対応した前記測定パルス光の照射後の変化を測定するナノ薄膜熱物性測定方法において、前記対象励起用パルス光として、tpulse<1/3t1/2でtpulse>1ns、かつ照射間隔が1測定対象励起用パルス光による温度変化の実質的に完結する時間よりも大きく設定され、ここで、tpulse:レーザのパルス幅 t1/2:ハーフタイム(レーザフラッシュ法で測定される最大温度上昇の2 分の1に達するまでの時間) trep:測定対象励起用パルス光の照射間隔時間としたパルス光を用いることを特徴としたナノ薄膜熱物性測定方法。

IPC (2件)：

G01N 25/18 , G01K 11/12

FI (2件)：

G01N25/18 H , G01K11/12 C

Fターム (15件)：

2F056VF01 , 2F056VF11 , 2F056VF16 , 2F056VF17 , 2G040AA00 , 2G040AB05 , 2G040AB08 , 2G040BA00 , 2G040BA25 , 2G040CA03 , 2G040CA17 , 2G040CA23 , 2G040CA29 , 2G040EA06 , 2G040EC02

引用特許：

出願人引用 (1件)

高速パルス高速時間応答測定方法並びに装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-128426 出願人：独立行政法人産業技術総合研究所

審査官引用 (7件)

高速パルス高速時間応答測定方法並びに装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-128426 出願人：独立行政法人産業技術総合研究所
特開平3-162654
特開平3-162654

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