特許
J-GLOBAL ID：200903043322659195

位置決め装置及び露光装置並びにデバイスの製造方法

発明者：
浅野 俊哉

浅野 俊哉 について

, 
柴田 雄吾

柴田 雄吾 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (4件)： 大塚 康徳 ,  高柳 司郎 ,  大塚 康弘 ,  木村 秀二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-324688
公開番号（公開出願番号）：特開2004-146807
出願日： 2003年09月17日
公開日（公表日）： 2004年05月20日
要約：
【課題】位置決め対象の構造物を大きな加速度で迅速に加減速するとともに高精度に位置決めする。【解決手段】位置決め装置は、XYスライダをX梁、Y梁とともに移動させる。XYスライダとX梁、Y梁との間には電磁ガイド(電磁機構)が設けられる。電磁ガイドは、XYスライダ109cに設けられた位置決め用電磁石XEM1〜XEM4、YEM1〜YEM4および加速用電磁石XAEM1、XAEM2、YAEM1、YAEM2と、X梁、Y梁に設けられたターゲットとで構成される。位置決め用電磁石はフィードバック制御され、加速用電磁石はフィードフォワード制御される。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
位置決め装置であって、 位置決めすべき構造物と、 前記構造物の位置決めのために移動する移動体と、 前記構造物と前記移動体との間に電磁的に力を作用させることにより、前記構造物と前記移動体との間に間隙を形成しつつ前記移動体の移動に伴って前記構造物が移動することを可能にする電磁機構とを備え、 前記電磁機構は、 前記構造物の目標位置と実際位置との偏差に基づいてフィードバック制御される第1電磁アクチュエータと、 前記構造物の目標位置に基づいてフィードフォワード制御される第2電磁アクチュエータと、を有し、 前記第1及び第2電磁アクチュエータは、各々、 同一線上において互いに反対の方向に力を発生するように配置された一対の電磁石と、 前記一対の電磁石の各々と対向して配置された一対のターゲットと、 を有し、前記電磁石と前記ターゲットとの間において、前記電磁石が発生する磁束による吸引力が前記ターゲットに作用することを特徴とする位置決め装置。
IPC (3件)：
H01L21/68 ,  G05D3/12 ,  H01L21/027
FI (3件)：
H01L21/68 K ,  G05D3/12 E ,  H01L21/30 503A
Fターム (29件)：
5F031CA02 ,  5F031HA53 ,  5F031JA06 ,  5F031JA17 ,  5F031JA28 ,  5F031JA32 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031KA08 ,  5F031LA08 ,  5F031MA27 ,  5F031PA26 ,  5F046CC01 ,  5F046CC03 ,  5F046CC17 ,  5H303AA06 ,  5H303BB03 ,  5H303BB09 ,  5H303CC02 ,  5H303DD04 ,  5H303DD11 ,  5H303GG11 ,  5H303HH02 ,  5H303JJ04 ,  5H303KK02 ,  5H303KK03 ,  5H303KK04 ,  5H303KK22 ,  5H303KK27
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 特許第3145355号公報
審査官引用 (3件)

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