特許
J-GLOBAL ID：200903036082577335

ステージ位置制御方法及びステージ位置制御装置

発明者：
牧野 健一

牧野 健一 について

, 
冨田 良幸

冨田 良幸 について

, 
森 英彦

森 英彦 について


出願人/特許権者：
住友重機械工業株式会社

住友重機械工業株式会社 について


代理人 (1件)： 後藤 洋介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-189336
公開番号（公開出願番号）：特開2001-022448
出願日： 1999年07月02日
公開日（公表日）： 2001年01月26日
要約：
【要約】【課題】 位置決めステージ機構に適し、その位置決め精度、定速性の向上を図ることのできるステージ位置制御方法を提供すること。【解決手段】 Yステージ63をY軸方向に、独立に制御可能なY1リニアモータ71、Y2リニアモータ72により並進駆動可能とし、Yステージの移動量をY1リニアエンコーダ76、Y2リニアエンコーダ77により検出してY制御系20、θ制御系30にフィードバックする。Y制御系は、Y1リニアエンコーダ、Y2リニアエンコーダによって計測される各位置検出値の平均値をステージ並進方向の位置フィードバック値として受けることにより並進推力指令値を出力し、θ制御系は、前記各位置検出値の差をステージヨーイング方向の位置フィードバック値として受けてヨーイング方向推力指令値を出力する。非干渉化ブロック40は、並進推力指令値とヨーイング方向推力指令値よりY1リニアモータ推力指令値、Y2リニアモータ推力指令値を出力する。以上により、Yステージの運動を並進方向運動とヨーイング方向運動とに分離して独立に制御補償する。
請求項（抜粋）：
ステージを搭載して一軸方向に駆動される駆動軸を独立に制御可能な第1、第2の駆動系により並進駆動可能とし、前記第1、第2の駆動系による移動量をそれぞれ第1、第2の位置検出器により検出して第1、第2のフィードバック制御系によりそれぞれ前記第1、第2の駆動系を制御するステージ位置制御方法において、前記第1のフィードバック制御系は、前記第1、第2の位置検出器によって計測される各位置検出値の平均値をステージ並進方向の位置フィードバック値として受けることにより前記第1、第2の駆動系に並進推力指令値を出力し、前記第2のフィードバック制御系は、前記各位置検出値の差をステージヨーイング方向の位置フィードバック値として受けて前記第1、第2の駆動系にヨーイング方向推力指令値を出力することにより、ステージの運動を並進方向運動とヨーイング方向運動とに分離して独立に制御補償することを特徴とするステージ位置制御方法。
IPC (7件)：
G05D 3/12 305 ,  G05D 3/12 304 ,  B23Q 1/30 ,  G05B 11/32 ,  G05B 11/36 507 ,  G05B 13/02 ,  G12B 5/00
FI (9件)：
G05D 3/12 305 L ,  G05D 3/12 304 ,  B23Q 1/30 ,  G05B 11/32 F ,  G05B 11/32 A ,  G05B 11/36 507 H ,  G05B 13/02 C ,  G12B 5/00 T ,  B23Q 1/14 B
Fターム (41件)：
2F078CA08 ,  2F078CB05 ,  2F078CB13 ,  2F078CC11 ,  3C048BB12 ,  3C048CC17 ,  3C048DD06 ,  5H004GB15 ,  5H004HA07 ,  5H004HB07 ,  5H004JA22 ,  5H004JB08 ,  5H004JB18 ,  5H004JB20 ,  5H004JB22 ,  5H004KA71 ,  5H004KB13 ,  5H004KB32 ,  5H004LA15 ,  5H004LA18 ,  5H004MA12 ,  5H303AA01 ,  5H303AA20 ,  5H303BB01 ,  5H303BB07 ,  5H303BB11 ,  5H303BB14 ,  5H303BB17 ,  5H303CC04 ,  5H303DD04 ,  5H303FF03 ,  5H303KK01 ,  5H303KK02 ,  5H303KK03 ,  5H303KK04 ,  5H303KK11 ,  5H303KK28 ,  5H303MM05 ,  9A001KK32 ,  9A001KK37 ,  9A001KK54
引用特許：
審査官引用 (4件)
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