特許
J-GLOBAL ID：200903043330474196

プレーナー型アクチュエータ

発明者：
中澤 智之

中澤 智之 について

, 
上田 譲

上田 譲 について


出願人/特許権者：
日本信号株式会社

日本信号株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-113875
公開番号（公開出願番号）：特開2007-283442
出願日： 2006年04月17日
公開日（公表日）： 2007年11月01日
要約：
【課題】 平板状の可動部(可動板)を有するプレーナー型アクチュエータにおいて、可動板の反りを補正して可動板を平面化する。【解決手段】 可動板3が下面側へ向かって凸状に反っている場合に、可動板3の上面に圧縮応力を発生する第一の応力膜6を形成すると共に、第一の応力膜7の上に第一の応力膜6により補正しきれなかった可動板3の反り成分(差分)を補正する圧縮応力を発生する第二の応力膜を形成する。第一の応力膜6は可動板3のX軸方向とY軸方向の反り成分のうち、反り量が小さいX軸方向の反り成分を過不足無く補正すると共に、Y軸方向の反り成分の一部を補正するように作用し、第二の応力膜7は第一の応力膜6により補正しきれなかったY軸方向の反り成分のみを選択的に過不足無く補正するように作用する。これにより、可動板3全体としての反りが過不足無く補正されて可動板が平面化する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
可動板に当該可動板の反りを補正するための応力膜を形成したプレーナー型アクチュエータであって、前記応力膜が複数の応力膜により構成されていることを特徴とするプレーナー型アクチュエータ。
IPC (3件)：
B81B 3/00 ,  G02B 26/10 ,  H04N 1/036
FI (3件)：
B81B3/00 ,  G02B26/10 104 ,  H04N1/036 Z
Fターム (6件)：
2H045AB02 ,  2H045AB16 ,  5C051AA02 ,  5C051DB24 ,  5C051DC04 ,  5C051DC07
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)
  • 光走査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-055992   出願人：日本信号株式会社, ミヨタ株式会社
  • 光走査装置及びその製造方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-070306   出願人：株式会社リコー

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