センサ

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西川惠清 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-270435
公開番号（公開出願番号）：特開2000-097765
出願日： 1998年09月25日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：

【要約】【課題】低コスト化が可能なセンサを提供する。【解決手段】薄膜サーミスタ2aを備えたセンサ部2は、支持部材4によって絶縁性基板1から離間して配設される。支持部材4は、絶縁膜とメタル配線とにより構成される。薄膜サーミスタ2a上には赤外線吸収膜22が形成される。絶縁性基板1とセンサ部2との間で絶縁性基板1上に信号処理部たるスイッチング素子3としてのアモルファスシリコン薄膜トランジスタが形成される。

請求項（抜粋）：

基板上に支持部材を介して基板から離間してセンサ部を配設したセンサであって、センサ部を外部回路に接続する信号処理部を備え、基板は、絶縁材料よりなり、信号処理部は、基板とセンサ部と支持部材との少なくとも一部に形成される薄膜素子よりなることを特徴とするセンサ。

IPC (5件)：

G01J 1/02 , G01J 1/44 , G01J 5/02 , H01L 27/14 , H01L 31/09

FI (8件)：

G01J 1/02 C , G01J 1/02 Q , G01J 1/44 N , G01J 5/02 C , G01J 5/02 M , H01L 27/14 K , H01L 27/14 D , H01L 31/00 A

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開昭61-024364
遠赤外線分光検出素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-092423 出願人：株式会社アドバンス
サーモパイル赤外線センサおよびセンサアレイ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-106379 出願人：富士通株式会社

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審査官引用 (13件)

特開昭61-024364
特開昭61-024364
遠赤外線分光検出素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-092423 出願人：株式会社アドバンス

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