特許
J-GLOBAL ID:200903043387523061
水素製造用フィルタの製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
米田 潤三
, 皿田 秀夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-216348
公開番号(公開出願番号):特開2004-057866
出願日: 2002年07月25日
公開日(公表日): 2004年02月26日
要約:
【課題】燃料電池の改質器に使用して高純度の水素ガスを安定して製造可能な水素製造用フィルタの製造方法を提供する。【解決手段】貫通孔閉塞工程にて複数の貫通孔を有する導電性基材の一方の面に磁石を用いて金属板を着設し、銅めっき工程にて金属板を着設していない導電性基材面側から、導電性基材上と貫通孔内に露出している金属板上に銅めっき層を形成して貫通孔を埋め、膜形成工程にて金属板を除去した後の導電性基材面にめっきによりPd合金膜を形成し、除去工程にて銅めっき層を選択エッチングにより除去することにより水素製造用フィルタを製造する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
複数の貫通孔を有する導電性基材の一方の面に金属板を磁石により着設する貫通孔閉塞工程と、
前記金属板を着設していない前記導電性基材面側から、導電性基材上と貫通孔内に露出している前記金属板上とに銅めっき層を形成して前記貫通孔を埋める銅めっき工程と、
前記金属板を除去した後の前記導電性基材面にめっきによりPd合金膜を形成する膜形成工程と、
前記銅めっき層を選択エッチングにより除去する除去工程と、を有することを特徴とする水素製造用フィルタの製造方法。
IPC (6件):
B01D71/02
, B01D69/10
, B01D69/12
, C01B3/56
, C25D1/00
, H01M8/06
FI (6件):
B01D71/02 500
, B01D69/10
, B01D69/12
, C01B3/56 Z
, C25D1/00 381
, H01M8/06 G
Fターム (19件):
4D006GA41
, 4D006MA03
, 4D006MA09
, 4D006MB04
, 4D006MC02X
, 4D006NA45
, 4D006NA49
, 4D006NA50
, 4D006PA03
, 4D006PB18
, 4D006PB66
, 4D006PB67
, 4G140FA02
, 4G140FB09
, 4G140FC01
, 4G140FE01
, 5H027AA06
, 5H027BA01
, 5H027DD05
引用特許:
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