特許

J-GLOBAL ID：200903043417845069

温度依存性のない多層膜フィルタとその製造方法

発明者： 三田村 宣明 ,  酒井 喜充 ,  松田 浩明 ,  野田 秀樹 ,  福島 暢洋
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 大菅 義之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-116544
公開番号（公開出願番号）：特開平11-305035
出願日： 1998年04月27日
公開日（公表日）： 1999年11月05日
要約：

【要約】【課題】膨張係数の大きい基板を用いることなく、特性が温度に依存しない、実用的な多層膜フィルタとその製造方法を提供する。【解決手段】透明基板1上に多層膜を蒸着する。このとき、透明基板1の熱膨張係数はあまり大きなものは用いず、多層膜の蒸着の際に温度のあがった基板が室温まで冷却されたときに、多層膜が剥がれたり、基板が破損したりしないようなものを用いる。透明基板1及び多層膜2が冷却された後、多層膜2の上に透明な接着剤3を塗り、物体4を接着する。物体4は、透明なものを使用する。物体4の熱膨張係数は、多層膜2や透明基板1よりも大きなものを使用し、多層膜フィルタの特性が温度変化によって変化する場合、物体4が大きく熱膨張、あるいは収縮し、多層膜の平均の屈折率と厚さの積を一定に保つように作用する。

請求項（抜粋）：

少なくとも片面に多層膜が形成された透明基板と、少なくとも該多層膜の表面、または周囲に接着された、前記多層膜および前記透明基板よりも熱膨張係数の大きい物体とを有し、温度変化によって生じる前記多層膜の平均の光学的膜厚の変化が、前記物体の温度変化に伴って生じる体積の変化により前記多層膜が変形されることによって相殺され、前記多層膜の波長特性が近似的に不変に保たれることを特徴とする多層膜フィルタ。

IPC (6件)：

G02B 5/28 ,  B32B 7/02 103 ,  B32B 9/00 ,  B32B 31/24 ,  B32B 31/26 ,  C23C 14/08

FI (6件)：

G02B 5/28 ,  B32B 7/02 103 ,  B32B 9/00 A ,  B32B 31/24 ,  B32B 31/26 ,  C23C 14/08 N

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 多層膜フィルタの波長シフト温度係数の選定方法及び波長シフト温度係数が略ゼロの多層膜フィルタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-351258   出願人：有限会社光伸光学
• 温度依存性のない光素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-066717   出願人：富士通株式会社