特許
J-GLOBAL ID：200903043467326780

排水装置

発明者：
馬上 宗二郎

馬上 宗二郎 について

, 
田村 宙治

田村 宙治 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (1件)： 佐々木 功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-294160
公開番号（公開出願番号）：特開2002-103177
出願日： 2000年09月27日
公開日（公表日）： 2002年04月09日
要約：
【要約】【課題】 切削装置を用いて切削水を供給しながら比重の重い被加工物を切削した場合においても、排水路に切削屑を滞留させないようにすることにより、使用済みの切削水の排水を円滑に行う。【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブル21と、切削方向の移動経路を有しチャックテーブル21を切削方向に切削送りする切削送り手段23と、チャックテーブル21に保持された被加工物に切削水を供給しながら切削を遂行する切削手段22とから少なくとも構成される切削装置に搭載される排水装置10であって、チャックテーブル21の切削方向の両側部に固定されチャックテーブル21の移動経路を覆うジャバラ部13と、チャックテーブル21に保持された被加工物に供給されジャバラ部13によって案内された切削水を受け止めるウォーターケース14と、ウォーターケース14が受け止めた切削水を一時的に貯留し排水する排水プール15とから少なくとも構成される排水装置を提供する。
請求項（抜粋）：
被加工物を保持するチャックテーブルと、切削方向の移動経路を有し該チャックテーブルを該切削方向に切削送りする切削送り手段と、該チャックテーブルに保持された被加工物に切削水を供給しながら切削を遂行する切削手段とから少なくとも構成される切削装置に搭載される排水装置であって、該チャックテーブルの切削方向の両側部に固定され該チャックテーブルの移動経路を覆うジャバラ部と、該チャックテーブルに保持された被加工物に供給され該ジャバラ部によって案内された切削水を受け止めるウォーターケースと、該ウォーターケースが受け止めた切削水を一時的に貯留し排水する排水プールとから少なくとも構成される排水装置。
IPC (4件)：
B23Q 11/10 ,  B23Q 11/00 ,  B28D 7/02 ,  H01L 21/301
FI (4件)：
B23Q 11/10 E ,  B23Q 11/00 Q ,  B28D 7/02 ,  H01L 21/78 F
Fターム (6件)：
3C011BB21 ,  3C011EE09 ,  3C069AA00 ,  3C069CA03 ,  3C069DA06 ,  3C069DA07
引用特許：
審査官引用 (3件)

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