特許
J-GLOBAL ID:200903043497980247

スラリ再生方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 野河 信太郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-131654
公開番号(公開出願番号):特開2005-313030
出願日: 2004年04月27日
公開日(公表日): 2005年11月10日
要約:
【課題】スラッジ中に含まれる砥粒を効率的に回収してスラリの再生に用いる方法を提供すること。【解決手段】本発明のスラリの再生方法は、(1)砥粒とそれを分散する水性の分散媒とからなるスラリにシリコン粒が混入した使用済みスラリ1を、1次遠心分離することにより、砥粒が主成分の固形分3bを回収し、(2)1次遠心分離により得られた液分3aを2次遠心分離することにより、分散媒が主成分の液分5aと、その残りのスラッジ5bとに分離し、(3)スラッジ5bを水性媒体で希釈後、3次遠心分離により固形分7bを回収し、(4)この固形分7bを前記砥粒が主成分の固形分3bと共に再生砥粒として利用することを特徴とする。【選択図】図1
請求項(抜粋):
(1)砥粒とそれを分散する水性の分散媒とからなるスラリにシリコン粒が混入した使用済みスラリを、1次遠心分離することにより、砥粒が主成分の固形分を回収し、 (2)1次遠心分離により得られた液分を2次遠心分離することにより、分散媒が主成分の液分と、その残りのスラッジとに分離し、 (3)スラッジを水性媒体で希釈後、3次遠心分離により固形分を回収し、 (4)この固形分を前記砥粒が主成分の固形分と共に再生砥粒として利用することを特徴とするスラリ再生方法。
IPC (4件):
C02F11/12 ,  B03B5/28 ,  B24B57/02 ,  C02F11/00
FI (5件):
C02F11/12 Z ,  C02F11/12 A ,  B03B5/28 A ,  B24B57/02 ,  C02F11/00 C
Fターム (18件):
3C047GG14 ,  3C047GG17 ,  4D059AA30 ,  4D059BD00 ,  4D059BD32 ,  4D059BE01 ,  4D059BE31 ,  4D059BE37 ,  4D059BF13 ,  4D059BK30 ,  4D059CC10 ,  4D059EB01 ,  4D059EB07 ,  4D071AA52 ,  4D071CA01 ,  4D071CA03 ,  4D071CA05 ,  4D071DA20
引用特許:
出願人引用 (2件)

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