特許

J-GLOBAL ID：200903043505541886

変位測定装置

発明者： 岡本 和年
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-276593
公開番号（公開出願番号）：特開2004-117010
出願日： 2002年09月24日
公開日（公表日）： 2004年04月15日
要約：

【課題】ゲイン誤差が小さく、測定値の個人差の少ない高精度の測定が行える変位測定装置を提供すること。【解決手段】測定対象に測定光を照射する照明系と、測定対象の反射光を画像センサ部に入射する結像光学系と、画像センサ部の出力信号に基づき測定対象の変位量を算出する信号処理部と、画像センサ部の出力信号に基づき結像光学系の焦点の状態を演算する焦点演算部と、焦点演算部の演算結果を表示する表示部、とで構成されたことを特徴とするもの。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

測定対象に測定光を照射する照明系と、 測定対象の反射光を画像センサ部に入射する結像光学系と、 画像センサ部の出力信号に基づき測定対象の変位量を算出する信号処理部と、 画像センサ部の出力信号に基づき結像光学系の焦点の状態を演算する焦点演算部と、 焦点演算部の演算結果を表示する表示部、 とで構成されたことを特徴とする変位測定装置。

IPC (1件)：

G01B11/00

FI (1件)：

G01B11/00 H

Fターム (28件)：

2F065AA06 ,  2F065AA09 ,  2F065BB05 ,  2F065BB15 ,  2F065BB16 ,  2F065CC11 ,  2F065DD06 ,  2F065FF41 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ18 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL30 ,  2F065NN11 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ26 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ33 ,  2F065QQ38 ,  2F065QQ41 ,  2F065QQ42 ,  2F065SS01 ,  2F065SS12 ,  2F065SS13

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 変位測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-055857   出願人：横河電機株式会社
• 特開平1-213613
  
• オートフォーカスカメラ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-248140   出願人：旭光学工業株式会社
• ビデオカメラ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-040514   出願人：ソニー株式会社
• 自動焦点調節装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-135948   出願人：富士写真フイルム株式会社