特許
J-GLOBAL ID：200903043506179056
静電型アクチュエータ、液滴吐出ヘッド、静電型アクチュエータ製造方法、インクカートリッジ、インクジェット記録装置、マイクロポンプ及び光変調デバイス
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-275279
公開番号（公開出願番号）：特開2008-099364
出願日： 2006年10月06日
公開日（公表日）： 2008年04月24日
要約：
【課題】犠牲層エッチングによりギャップを形成した静電型アクチュエータ固有の問題を改善することによって、低コストで、信頼性が高く、高画質印字が可能な静電型アクチュエータ、液滴吐出ヘッド、この液滴吐出ヘッドを一体化したインクカートリッジ、及びこの液滴吐出ヘッドを搭載したインクジェット記録装置を提供する。【解決手段】液滴を吐出する液滴吐出ヘッドに設けかつ振動板5を変形・動作させる静電型アクチュエータにおいて、前記振動板に対してギャップを介して対向配置された対向電極4が形成されており、前記ギャップが犠牲層エッチングにより形成され、前記振動板5が紫外線を透過する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
変形可能な振動板と、該振動板との間に積層した犠牲層をエッチング除去して形成したギャップを介して前記振動板に対向配置した対向電極と、を備え、該対向電極に電圧を印加して前記対向電極と前記振動板との間に発生させた静電気により前記振動板を変形・動作させる静電型アクチュエータにおいて、前記振動板は、紫外線を透過させる材質にて構成されていることを特徴とする静電型アクチュエータ。
IPC (4件)：
H02N 1/00
, B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
H02N1/00
, B41J3/04 103A
, B41J3/04 103H
2C057AF93
, 2C057AF99
, 2C057AG12
, 2C057AG54
, 2C057AG55
, 2C057AP02
, 2C057AP14
, 2C057AP53
, 2C057BA03
, 2C057BA15
