特許
J-GLOBAL ID：200903043062280863
静電型アクチュエータ、その製造方法及び前記静電型アクチュエータを用いたインクジェットヘッド、インクジェットプリンタ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高野 明近 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-053077
公開番号（公開出願番号）：特開2002-254633
出願日： 2001年02月27日
公開日（公表日）： 2002年09月11日
要約：
【要約】【課題】 静電型インクジェットヘッドのアクチュエータにおいて、振動板と対向電極間に生じる、ファンデルワールス力、静電引力、液架橋力、水素結合力等を原因とする振動板と電極との付着を防止する。【解決手段】 インク室6の底部を形成する振動板5と、該振動板と対向配置された対向電極12と、振動板5と対向電極12間振動室を備えている静電型アクチュエータにおいて、振動板5と対向電極12が接触した時の振動板5と対向電極12との吸着力が振動板5の弾性に基づく復元力と等しくなる時の表面荒さをRa(th)とするときに、対向電極12表面の表面荒さRaがRa(th)以上とする。電極の保護膜である酸化膜13表面が表面荒さがRa(th)以上となるようエッチング等により粗面化される。
請求項（抜粋）：
振動板と、該振動板と対向配置された対向電極と、前記振動板と対向電極間に振動室を備えている静電型アクチュエータにおいて、前記振動板と対向電極が接触した時の前記振動板と対向電極との吸着力が前記振動板の復元力と等しくなる時の前記対向電極の表面荒さをRa(th)としたときに、前記対向電極表面の表面荒さRaが前記Ra(th)以上であることを特徴とする静電型アクチュエータ。
IPC (3件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
2C057AF66
, 2C057AG37
, 2C057AG54
, 2C057AP31
, 2C057AP51
, 2C057AP52
, 2C057AP56
, 2C057BA04
, 2C057BA15
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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