特許
J-GLOBAL ID：200903043548462866
欠陥検査方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金山 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-142767
公開番号（公開出願番号）：特開2000-326494
出願日： 1999年05月24日
公開日（公表日）： 2000年11月28日
要約：
【要約】【課題】非検査領域を生じることなく繰り返し絵柄を有する平らな物品の表面における欠陥を検査することができる欠陥検査方法および装置を提供する。【解決手段】繰り返し絵柄を有する画像の欠陥検査方法であって、拡大基準画像生成過程と、欠陥抽出過程とを有し、前記拡大基準画像生成過程において、基準画像を縦横に繰り返し絵柄の1単位距離以上延長した拡大基準画像を生成し、前記欠陥抽出過程において、前記拡大基準画像と前記検査対象画像の繰り返し絵柄の位置合わせを行って、前記拡大基準画像と前記検査対象画像とを比較し、欠陥を抽出する欠陥検査方法。およびその方法が適用された欠陥検査装置、等。
請求項（抜粋）：
繰り返し絵柄を有する画像の欠陥検査方法であって、拡大基準画像生成過程と、欠陥抽出過程とを有し、前記拡大基準画像生成過程において、基準画像を縦横に繰り返し絵柄の1単位距離以上延長した拡大基準画像を生成し、前記欠陥抽出過程において、前記拡大基準画像と前記検査対象画像の繰り返し絵柄の位置合わせを行って、前記拡大基準画像と前記検査対象画像とを比較し、欠陥を抽出する、ことを特徴とする欠陥検査方法。
IPC (3件)：
B41F 33/14
, G01N 21/88
, G06T 7/00
B41F 33/14 G
, G01N 21/88 J
, G06F 15/62 410 Z
2C250EB43
, 2G051AA73
, 2G051AB01
, 2G051AB07
, 2G051CA03
, 2G051CA04
, 2G051DA07
, 2G051EA08
, 2G051EA14
, 2G051EB01
, 2G051EB02
, 2G051EC03
, 2G051EC05
, 2G051ED07
, 2G051ED14
, 5B057CE06
, 5B057DA03
, 5B057DC19
, 5B057DC33
, 5B057DC39
