研磨装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-044160
公開番号（公開出願番号）：特開平7-254579
出願日： 1994年03月15日
公開日（公表日）： 1995年10月03日
要約：

【要約】【目的】本発明は、実用上問題がない程度に配線表面に生じる傷(粗れ)およびディッシングの発生を抑制して研磨することができる研磨装置を提供することを目的とする。【構成】研磨剤を貯蔵する研磨剤貯蔵容器と、被研磨体を研磨するための研磨定盤と、前記研磨剤貯蔵容器から前記研磨定盤上へ前記研磨剤を供給する研磨剤供給管と、前記被研磨体の被研磨面を前記研磨定盤に対面させるように前記被研磨体を保持する被研磨体保持具と、前記研磨剤供給管に取り付けられており、前記研磨剤の温度を調節する研磨剤温度調節手段とを具備することを特徴としている。

請求項（抜粋）：

研磨剤を貯蔵する研磨剤貯蔵容器と、被研磨体を研磨するための研磨定盤と、前記研磨剤貯蔵容器から前記研磨定盤上へ前記研磨剤を供給する研磨剤供給管と、前記被研磨体の被研磨面を前記研磨定盤に対面させるように前記被研磨体を保持する被研磨体保持具と、前記研磨剤供給管に取り付けられており、前記研磨剤の温度を調節する研磨剤温度調節手段と、を具備することを特徴とする研磨装置。

IPC (2件)：

H01L 21/304 321 , B24B 37/04

引用特許：

出願人引用 (3件)

研磨機の除熱方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-078290 出願人：信越半導体株式会社
特開平4-216627
特開昭62-068276

審査官引用 (9件)

研磨機の除熱方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-078290 出願人：信越半導体株式会社
特開平4-216627
特開平4-216627

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