特許

J-GLOBAL ID：200903043718702999

基板加熱用清浄超高温ヒータ

発明者： 武藤 八三
出願人/特許権者： 独立行政法人産業技術総合研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-319187
公開番号（公開出願番号）：特開2005-086117
出願日： 2003年09月11日
公開日（公表日）： 2005年03月31日
要約：

【課題】 基板加熱用清浄超高温ヒータを提供する。【解決手段】ヒータ母体により基板ホルダー板の加熱を行ない、ホルダー板に基板を密接に固定することにより輻射と伝導の両面から基板を加熱できる構造を有し、ヒータ材料としてMo、W、Taの線材、あるいはSiC、グラファイト、を用いて作った平面コイル状のヒータ母体を有し、該ヒータ母体を基板ホルダー板と熱反射板及びヒータ保持機構から電気絶縁するためにAl2O3、BN、3Al2O3・2SiO2又はMgOの薄い平板と、基板ホルダー板への熱輻射のための窓が付いた平板を用いてサンドイッチ状に挟んだ構造を有し、該窓付き絶縁性平板側を基板ホルダー板で、平板側を熱反射板で、更にその全体を熱反射筒で囲ったヒータ構造を有する超高温ヒータ。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

ヒータ母体自体による基板の直接的加熱方式ではなく、ヒータ母体により基板ホルダー板の加熱を行ない、ホルダー板に基板を密接に固定することにより輻射と伝導の両面から基板を加熱できる構造を有し、ヒータ材料としてモリブデン(Mo)又はタングステン(W)又はタンタル(Ta)の金属の線材を用いて作った平面コイル状のヒータ母体を有し、該ヒータ母体を、基板ホルダー板と熱反射板及びヒータ保持機構から電気絶縁するために、アルミナ(Al2O3)又は窒化ホウ素(BN)又はスーパームライト(3Al2O3・2SiO2)又は酸化マグネシュウム(MgO)の薄い平板と、基板ホルダー板への熱輻射のための窓が付いた平板とを用いてサンドイッチ状に挟んだ構造を有し、該窓付き絶縁性平板側を基板ホルダー板で、平板側を熱反射板で、更にその全体を熱反射筒で囲ったヒータ構造を有し、ヒータの最高温度として測温誤差±40°Cを含めて、基板ホルダー板の裏面で1300°C以上、基板側である表面で1100°C以上の高温にまで達することができ、かつヒータからの蒸発成分の蒸気圧が10-5Pa以下であることを特徴とする基板加熱用の超高温ヒータ。

IPC (4件)：

H01L21/02 ,  H05B3/10 ,  H05B3/12 ,  H05B3/20

FI (5件)：

H01L21/02 Z ,  H05B3/10 C ,  H05B3/12 A ,  H05B3/20 328 ,  H05B3/20 356

Fターム (50件)：

3K034AA02 ,  3K034AA12 ,  3K034AA21 ,  3K034BB04 ,  3K034BB06 ,  3K034BB14 ,  3K034BC05 ,  3K034BC16 ,  3K034FA29 ,  3K034FA30 ,  3K034GA17 ,  3K034HA01 ,  3K034JA10 ,  3K092PP09 ,  3K092PP20 ,  3K092QA05 ,  3K092QB02 ,  3K092QB26 ,  3K092QB44 ,  3K092RF03 ,  3K092RF08 ,  3K092RF11 ,  3K092RF19 ,  3K092RF26 ,  3K092SS47 ,  3K092SS48 ,  3K092UB02 ,  3K092VV40 ,  4K029CA01 ,  4K029CA03 ,  4K029CA05 ,  4K029DA08 ,  4K030FA01 ,  4K030FA10 ,  4K030KA23 ,  5F045AA03 ,  5F045AA06 ,  5F045AA08 ,  5F045AA12 ,  5F045AB06 ,  5F045AB14 ,  5F045AB22 ,  5F045AD14 ,  5F045AD15 ,  5F045AD16 ,  5F045AD17 ,  5F045AD18 ,  5F045BB14 ,  5F045EK08 ,  5F045EM09

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 基板加熱装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-100133   出願人：科学技術振興事業団
• 特開昭61-34923号公報
  
• レーザ加熱装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-258973   出願人：科学技術振興事業団