特許
J-GLOBAL ID：200903043730159842
スタッドバンプ用キャピラリ及びこれを用いたスタッドバンプの形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中井 宏行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-335765
公開番号（公開出願番号）：特開2006-147842
出願日： 2004年11月19日
公開日（公表日）： 2006年06月08日
要約：
【課題】切断治具を要することなく、スタッドバンプの高さを均一に形成することが可能なスタッドバンプ用キャピラリと、このキャピラリを用いたスタッドバンプ形成方法を提供する【解決手段】金属ワイヤ3を導出させるワイヤ導出孔12を中心にして漏斗状に形成された面取凹部13を先端に有した中空針10を備え、該中空針10を上記金属ワイヤに直交する方向に超音波振動させる構造にした半導体製造装置Wのキャピラリにおいて、中空針10の先端開口縁13aには、面取凹部13から外方に連通する複数の逃がし溝11を、ワイヤ導出孔12を挟むようにして形成している。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
金属ワイヤを導出させるワイヤ導出孔を中心にして漏斗状に形成された面取凹部を先端に有した中空針を備え、該中空針を上記金属ワイヤに直交する方向に超音波振動させる構造にした半導体製造装置のキャピラリにおいて、
上記中空針の先端開口縁には、上記面取凹部から外方に連通する複数の逃がし溝を、上記ワイヤ導出孔を挟むようにして形成していることを特徴とするスタッドバンプ用キャピラリ。
IPC (1件)：
FI (2件)：
H01L21/92 604K
, H01L21/92 604J
