特許
J-GLOBAL ID：200903043735014222
レーザ走査装置およびレーザマーキング装置、ならびにレーザマーキング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-041001
公開番号（公開出願番号）：特開2006-224142
出願日： 2005年02月17日
公開日（公表日）： 2006年08月31日
要約：
【課題】慣性が大きいステージを使用することなく高速なレーザビーム走査を可能とするとともに、装置構成上の部品点数が少なく簡便で、且つ、温度、湿度の影響を受け難く正確で精密なレーザマーキング、またはレーザ加工を可能とするレーザ走査装置、レーザマーキング装置、およびレーザマーキング方法装置を提供する。【解決手段】ガルバノスキャナのミラー18の背面に照射される光線40の光源5と、ガルバノスキャナのミラー18の背面で反射した光線41の位置を検出する半導体位置検出素子を用いた位置検出器601を備えた。 【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ガルバノスキャナモータ(19)と、前記ガルバノスキャナモータの出力軸(21)にミラー(18)を備え、レーザ(500)を前記ミラー(18)に照射し前記レーザを偏向させるレーザ走査装置において、
前記ミラー(18)の背面に照射される光線(40)の光源(5)と、
前記ミラー(18)の背面で反射した光線(41)の位置を検出する位置検出器(601)と、を備えたことを特徴とするレーザ走査装置。
IPC (4件)：
B23K 26/00
, B23K 26/08
, G02B 26/10
, B41J 2/44
B23K26/00 B
, B23K26/00 M
, B23K26/08 B
, G02B26/10 A
, G02B26/10 C
, G02B26/10 104Z
, B41J3/00 Q
2C362BA17
, 2C362BA42
, 2C362BA69
, 2C362BA89
, 2C362CB67
, 2H045AB62
, 2H045BA13
, 2H045CA89
, 4E068AB00
, 4E068CB01
, 4E068CC06
, 4E068CD12
