特許
J-GLOBAL ID：200903043757948938

ヒータユニットとその製造方法

発明者：
平野 智資

平野 智資 について


出願人/特許権者：
日本発條株式会社

日本発條株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人高橋・林アンドパートナーズ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-324210
公開番号（公開出願番号）：特開2009-146793
出願日： 2007年12月17日
公開日（公表日）： 2009年07月02日
要約：
【課題】ヒータ機能面内での被加熱体とのクリアランスの均一化の確保及び金属コンタミネーションの減少が可能なヒータユニット及びその製造方法を提供する。【解決手段】本発明の一実施形態によれば、下面に溝13を有するプレート部材11と、中央が開口し、前記プレート部材11の下面の一部に接合された基盤12と、前記溝13と前記基盤12の上面との間に配置された抵抗発熱体14と、前記プレート部材11の上面に形成され、それぞれの上面が同一の平面を構成する複数の凸部16と、を具備することを特徴とするヒータユニット1が提供される。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
下面に溝を有するプレート部材と、 中央が開口し、前記プレート部材の下面の一部に接合された基盤と、 前記溝と前記基盤の上面との間に配置された抵抗発熱体と、 前記プレート部材の上面に形成され、それぞれの上面が同一の平面を構成する複数の凸部と、 を具備することを特徴とするヒータユニット。
IPC (4件)：
H05B 3/68 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/324 ,  H01L 21/02
FI (4件)：
H05B3/68 ,  H01L21/205 ,  H01L21/324 K ,  H01L21/02 Z
Fターム (22件)：
3K092PP20 ,  3K092QA05 ,  3K092QB63 ,  3K092QB77 ,  3K092RF03 ,  3K092RF09 ,  3K092RF27 ,  3K092VV35 ,  4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030GA02 ,  4K030JA03 ,  4K030KA24 ,  4K030KA46 ,  4K030KA47 ,  4K030LA15 ,  5F045AA03 ,  5F045AA08 ,  5F045AF01 ,  5F045BB14 ,  5F045DP02 ,  5F045EM09
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • ウェハ支持システム
    公報種別：公表公報   出願番号：特願平10-532172   出願人：エーエスエムアメリカインコーポレイテッド
審査官引用 (4件)
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