マイクロミラーユニットおよび光レベル制御機能付光スイッチング装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：真田有
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-142388
公開番号（公開出願番号）：特開2004-347713
出願日： 2003年05月20日
公開日（公表日）： 2004年12月09日
要約：

【課題】マイクロミラーユニットに関し、簡素な装置構成により、外部からの衝撃/振動による光出力パワー変動を補償するようにする。【解決手段】固定フレーム11をそなえるとともに、光を反射するマイクロミラー12と、該マイクロミラーを回転動作可能となるように、前記の固定フレームとマイクロミラーとを連結支持する支持部材16とをそなえ、支持部材16が、マイクロミラー12を回転動作させるための動作特性が互いに異なった複数の偏向部材13,14と、複数の偏向部材13,14間を連結するとともに、複数の偏向部材13,14の回転動作を独立させるための偏向部材間連結フレーム15と、をそなえるように構成する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

固定フレームをそなえるとともに、光を反射するマイクロミラーと、該マイクロミラーを回転動作可能となるように、前記の固定フレームとマイクロミラーとを連結支持する支持部材とをそなえ、該支持部材が、該マイクロミラーを回転動作させるための動作特性が互いに異なった複数の偏向部材と、該複数の偏向部材間を連結するとともに、該複数の偏向部材の回転動作を独立させるための偏向部材間連結フレームと、をそなえて構成されたことを特徴とする、マイクロミラーユニット。

IPC (1件)：

G02B26/08

FI (1件)：

G02B26/08 E

Fターム (7件)：

2H041AA14 , 2H041AA15 , 2H041AA16 , 2H041AB14 , 2H041AZ02 , 2H041AZ05 , 2H041AZ08

引用特許：

審査官引用 (5件)

ガルバノミラーの製造方法およびガルバノミラー
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-059626 出願人：富士通株式会社, 富士通メディアデバイス株式会社
集積型ガルバノメータ走査デバイス
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-190400 出願人：イーストマン・コダツク・カンパニー
特開平2-222915

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