単結晶引き上げ装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井内龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-161371
公開番号（公開出願番号）：特開2001-342095
出願日： 2000年05月31日
公開日（公表日）： 2001年12月11日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】融液面を所定の位置に保持することによって、高品質の単結晶を引き上げることができる単結晶引き上げ装置を提供すること。【解決手段】単結晶36の引き上げに伴い減少する溶融液23の体積をもとにルツボ21の上昇速度を算出してルツボ昇降用モ-タ10を制御して液面位置を制御する液面位置制御手段20が装備された単結晶引き上げ装置において、基準反射体12と、基準反射体12が融液面23aに写った鏡像位置を一次元CCDカメラ11にて検出することにより液面位置を測定する液面位置測定手段13と、液面位置測定手段13の出力をもとにルツボ21の上昇速度の補正値を算出するルツボ上昇速度補正値算出手段15と、ルツボ上昇速度に補正値を加算する補正値加算手段17と、補正値加算手段17からの出力に基づいてルツボ昇降用モ-タ10を制御して液面位置を制御する液面位置制御手段20とを装備する。

請求項（抜粋）：

ルツボの昇降駆動手段と、単結晶の引き上げに伴い減少する融液体積をもとにルツボ上昇速度を算出して前記昇降駆動手段を制御してルツボ内の液面位置を制御する液面位置制御手段とが装備された単結晶引き上げ装置において、チャンバ内に配設される基準反射体と、該基準反射体が融液表面に写った鏡像位置をチャンバ外に配設された光学機器にて検出することにより実際の液面位置を測定する液面位置測定手段と、該液面位置測定手段の出力をもとに前記ルツボ上昇速度の補正値を算出するルツボ上昇速度補正値算出手段と、前記ルツボ上昇速度に前記補正値を加算する補正値加算手段と、該補正値加算手段からの出力に基づいて前記昇降駆動手段を制御してルツボ上昇速度を制御することによりルツボ内の液面位置を制御する前記液面位置制御手段とを備えていることを特徴とする単結晶引き上げ装置。

IPC (3件)：

C30B 15/26 , C30B 29/06 502 , H01L 21/208

FI (3件)：

C30B 15/26 , C30B 29/06 502 J , H01L 21/208 P

Fターム (21件)：

4G077AA02 , 4G077BA04 , 4G077CF10 , 4G077EG01 , 4G077EH04 , 4G077EH06 , 4G077HA12 , 4G077PF04 , 4G077PF08 , 4G077PF09 , 4G077PF17 , 5F053AA13 , 5F053AA50 , 5F053BB04 , 5F053BB08 , 5F053BB14 , 5F053DD01 , 5F053FF04 , 5F053GG01 , 5F053HH04 , 5F053RR01

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭64-069591
特開平4-328425
CZ法による単結晶製造装置および融液レベル制御方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-086028 出願人：コマツ電子金属株式会社

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