感光性樹脂組成物

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鐘尾宏紀 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-362994
公開番号（公開出願番号）：特開2001-174990
出願日： 1999年12月21日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：

【要約】【目的】高残膜性および高感度化を両立させることが実用上可能で、塗布性も優れた感光性樹脂組成物を提供する。【構成】アルカリ可溶性樹脂およびキノンジアジド基を含む感光剤を含有する感光性樹脂組成物において、感光性樹脂組成物中に更に溶解抑止剤、好ましくはポリスチレン換算重量平均分子量が7,000〜20,000で、2.38重量%水酸化テトラメチルアンモニウムに対する溶解速度が1500Å/分以下である重合体を含有させるとともに、感光性樹脂組成物中の樹脂成分100重量部に対し、キノンジアジド基を含む感光剤を従来の感光剤より少ない量である1〜18重量部含有させる。

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂およびキノンジアジド基を含む感光剤を含有する感光性樹脂組成物において、感光性樹脂組成物中に更に溶解抑止剤が含有されるとともに、感光性樹脂組成物中の樹脂成分100重量部に対する前記キノンジアジド基を含む感光剤の量が1〜18重量部であることを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/022 , G03F 7/023 511 , G03F 7/027 502 , H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/022 , G03F 7/023 511 , G03F 7/027 502 , H01L 21/30 502 R

Fターム (14件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA04 , 2H025AA18 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025CB14 , 2H025CB29 , 2H025CB42 , 2H025CB52 , 2H025CC20 , 2H025FA17

引用特許：

審査官引用 (8件)

放射線感受性レジスト組成物及びその使用
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-260837 出願人：インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
ポジ型フォトレジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-027211 出願人：ジェイエスアール株式会社
ポジ型感光性平版印刷版およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-273650 出願人：富士写真フイルム株式会社

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