特許
J-GLOBAL ID：200903043864916038

荷電ビーム描画装置用静電偏向電極の製造方法

発明者：
吉武 秀介

吉武 秀介 について

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平澤 博明

平澤 博明 について

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若山 茂

若山 茂 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-064935
公開番号（公開出願番号）：特開平10-261376
出願日： 1997年03月18日
公開日（公表日）： 1998年09月29日
要約：
【要約】【課題】寸法精度の高い組立を簡単に行え、かつ加工が比較的容易な荷電ビーム描画装置用静電偏向電極の製造方法を提供する。【解決手段】導電性金属材で形成された円筒状素材32を得る第1の工程と、円筒状素材32の外周面を周方向に8等分に区画する線上から円筒状素材32の軸心線に向けて円筒状素材の半径方向中途位置まで所定幅で延びる切り込み35をそれぞれ設ける第2の工程と、円筒状素材32における軸心線方向の両端面で切り込み35の設けられている領域内に絶縁性のリング状治具37をそれぞれ固定する第3の工程と、リング状治具37の装着されている条件下で各切り込み35の内端部側を軸心線方向に延長させて円筒状素材32を周方向に8個の電極要素に分離させる第4の工程とを備えている。
請求項（抜粋）：
軸心線を挟んで互いに対向配置される一対の電極を基本単位とし、この基本単位を構成する電極を上記軸心線回りにN対(ただし、Nは2以上の整数)配置してなる荷電ビーム描画装置用静電偏向電極を製造するに当たり、導電性金属材で形成された円筒状素材を得る第1の工程と、前記円筒状素材の外周面を周方向に2N等分に区画する線上から上記円筒状素材の軸心線に向けて上記円筒状素材の半径方向中途位置まで所定幅で延びる切り込みをそれぞれ設ける第2の工程と、前記円筒状素材における軸心線方向の両端面で前記切り込みの設けられている領域内に絶縁性のリング状治具をそれぞれ固定する第3の工程と、前記リング状治具の装着されている条件下で前記各切り込みの内端部側を前記軸心線方向に延長させて前記円筒状素材を周方向に2N個の電極要素に分離させる第4の工程とを具備してなることを特徴とする荷電ビーム描画装置用静電偏向電極の製造方法。
IPC (4件)：
H01J 37/147 ,  H01J 9/14 ,  H01J 37/305 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
H01J 37/147 C ,  H01J 9/14 Z ,  H01J 37/305 B ,  H01L 21/30 541 B
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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