特許
J-GLOBAL ID:200903043875487422

エキシマレ-ザによる輪郭が可変の孔または形の加工方法および装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 川口 義雄 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-215436
公開番号(公開出願番号):特開2000-052078
出願日: 1999年07月29日
公開日(公表日): 2000年02月22日
要約:
【要約】【課題】 エキシマレーザにより機械部品に輪郭が可変の孔または形を加工する装置を提供する。【解決手段】 エキシマレーザ(10)とレーザビームの集束装置(30)との間に介在させた所定の形の開口部を備えたスクリーン(50)を含む。このスクリーンは、レーザビーム(40)に垂直な面を移動する。制御手段(60、70、80)は、機械部品の孔の加工中に、レーザビームが送るパルス数に応じてリアルタイムでスクリーンの移動を自動的に制御する。
請求項(抜粋):
パルスとしてビームを送るエキシマレーザにより、機械部品に輪郭が可変の孔または形を加工する装置であって、エキシマレーザ(10)とビームの集束装置(30)との間に介在させた所定の形の開口部を備えるスクリーン(20)を含み、該スクリーン(20)が、レーザビーム(40)に垂直な面を移動することを特徴とする加工装置。
IPC (4件):
B23K 26/06 ,  B23K 26/00 ,  B23K 26/00 330 ,  F01D 5/18
FI (5件):
B23K 26/06 E ,  B23K 26/06 J ,  B23K 26/00 M ,  B23K 26/00 330 ,  F01D 5/18
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 加工装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平6-299504   出願人:松下電器産業株式会社
  • レーザ加工装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平6-237013   出願人:ブラザー工業株式会社

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