特許
J-GLOBAL ID：200903043942870430
高感度超音速分子ジェット多光子吸収イオン化質量分析装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
矢葺 知之
, 津波古 繁夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-276927
公開番号（公開出願番号）：特開2004-119040
出願日： 2002年09月24日
公開日（公表日）： 2004年04月15日
要約：
【課題】高温炉あるいは煙道内に存在する超微量ガス、高沸点ガス、不安定ガスの検出に優れた高感度超音速分子ジェット多光子吸収イオン化質量分析装置を提供すること。【解決手段】試料ガスを装置内に導入するパルスバルブと、該パルスバルブから放出された試料ガスをイオン化するイオン化領域と、該イオン化領域にて発生したイオンを検出器に導入するイオン光学系と、該イオン光学系から引き出されたイオンを検出するイオン検出器を具備する超音速分子ジェット多光子吸収イオン化質量分析装置であって、前記イオン光学系の引き出し電極が出鼻形状であり、引き出し電極の正対する位置に同一形状の対向電極を配置し、該対向電極の後方にパルスバルブを配置し、前記引き出し電極の後方に円筒状のポテンシャルスイッチを、さらにその後方に前記検出器を配置し、引き出し電極および対向電極の孔、パルスバルブの噴射口、検出器を同軸上に配置すること。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
試料ガスを装置内に導入するパルスバルブと、該パルスバルブから放出された試料ガスをイオン化するイオン化領域と、該イオン化領域にて発生したイオンを検出器に導入するイオン光学系と、該イオン光学系から引き出されたイオンを検出するイオン検出器を具備する超音速分子ジェット多光子吸収イオン化質量分析装置であって、前記イオン光学系の引き出し電極が出鼻形状であり、引き出し電極の正対する位置に同一形状の対向電極を配置し、該対向電極の後方にパルスバルブを配置し、前記引き出し電極の後方に円筒状のポテンシャルスイッチを配置し、さらにその後方に前記検出器を配置し、かつ、前記引き出し電極および対向電極の孔、前記パルスバルブの噴射口、前記検出器を同軸上に配置することを特徴とする高感度超音速分子ジェット多光子吸収イオン化質量分析装置。
IPC (5件)：
H01J49/10
, G01N27/62
, G01N27/64
, H01J49/06
, H01J49/26
H01J49/10
, G01N27/62 F
, G01N27/62 V
, G01N27/64 B
, H01J49/06
, H01J49/26
5C038FF07
, 5C038FF10
, 5C038FF13
, 5C038GG07
, 5C038GH04
, 5C038GH08
, 5C038GH11
, 5C038GH13
, 5C038HH02
, 5C038HH05
, 5C038HH18
