磁気抵抗センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山内梅雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-302543
公開番号（公開出願番号）：特開平8-160115
出願日： 1994年12月07日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：

【要約】【目的】高い精度を有し、磁気特性の低下しない磁気抵抗体からなる磁気抵抗センサを得ること。【構成】磁気抵抗センサの磁気抵抗素子部11Aの第1の抵抗体13Aは、線状パターン51を互いに平行に配置し、これらの端部を接続部パターン52で互い違いに接続したパターン形状となっている。接続部パターン52の端部は磁界の印加方向の影響を防止するため線状パターン51の長手方向に対して±45度の方向に切り取られた形状となっている。最も外側の線状パターン51には隣接パターン54が隣接配置されている。第2〜第4の抵抗体14A〜16Aも同一構造となっており、これらがブリッジ接続され、端子18A、19Aから磁界の変化に応じた電位差が得られる。接続部パターン52には導体が被覆されていないので、そのばらつきによる特性の劣化を防止することができる。

請求項（抜粋）：

基板上に互いに平行に配置され強磁性体薄膜で形成された共に同一長の複数の線状パターン部と、これら線状パターン部の延長としてその上に導体層を被覆することなく前記基板上に同一の強磁性体薄膜で形成されており、これら線状パターン部の互いに隣接するものの端部同士を互い違いに連結して全体として蛇腹状の強磁性体薄膜のパターンを構成すると共に、この連結部分が磁界の向きによって抵抗の変化を生じさせないような形状とされた接続部パターン部とを有する磁気抵抗体と、磁界の印加によってこの磁気抵抗体の抵抗値の変化を検出するためにこの磁気抵抗体に接続された外部端子とを具備することを特徴とする磁気抵抗センサ。

IPC (3件)：

G01R 33/09 , G01D 5/18 , H01L 43/08

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭61-234084
特開平3-282368
集積化磁気抵抗センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-258138 出願人：日本電気株式会社

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