光学的損傷に対する耐性を有する高純度溶融シリカガラス部材およびその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：柳田征史 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-092321
公開番号（公開出願番号）：特開平8-290935
出願日： 1996年04月15日
公開日（公表日）： 1996年11月05日
要約：

【要約】【課題】高純度溶融シリカガラスにおいて、紫外線、特に、波長300 nmまたはそれ以下のレーザーによる光学的損傷に対して高度に抵抗性を有するようにする。【解決手段】酸化による熱分解、または火炎加水分解によってSiO2 へ転化され得る蒸気状態にあるケイ素含有化合物を含むガス流を生成する。このガス流を燃焼バーナーの火炎中に通し溶融SiO2 の非晶粒子を形成し、支持体上に付着させる。非晶粒子付着物を透明ガラスボディに固結させる。この透明ガラスボディを高圧低温条件下において水素分子でドーピングして光学的損傷に対する高い抵抗性を有するガラス部材を形成する。

請求項（抜粋）：

190 nmから300 nmまでの波長範囲での紫外線による光学的損傷に対し抵抗性を有する高純度溶融シリカガラス部材であって、OH- 含有量が50ppm以下であることを特徴とする高純度融合シリカガラス部材。

IPC (4件)：

C03C 3/06 , C03B 8/04 , C03B 20/00 , C03C 4/00

FI (4件)：

C03C 3/06 , C03B 8/04 , C03B 20/00 , C03C 4/00

引用特許：

審査官引用 (16件)

特開平3-101282
特開平3-101282
特開平3-088742

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