特許
J-GLOBAL ID：200903044156688684
光学的表面形状測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊丹 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-104890
公開番号（公開出願番号）：特開平7-286848
出願日： 1994年04月19日
公開日（公表日）： 1995年10月31日
要約：
【要約】【目的】 高精度測定を可能とした光学的表面形状測定装置を提供する。【構成】 合焦点型変位検出器を用いて、二つの出力信号を電圧値に変換する電流-電圧変換器21a,21b、これらの出力を演算処理してワーク表面変位に対応する出力を得る減算回路23、加算回路24、除算回路26、及びこれらの処理系に設けられた利得可変増幅器25a,25bを持つ表面形状測定装置が構成され、ワークがない状態で誤差電圧検出回路27により検出された変換器21a,21bの出力誤差を記憶してこれに基づいて変換器21a,21bの出力に誤差を相殺する補償電圧を加算するオフセット補償回路28を有し、且つ予備測定によりレベル検出回路29により検出した二つの出力電圧の和に基づいて可変利得増幅器25a,25bの最適利得を算出して、本測定の間可変利得増幅器25a,25bの利得を最適値に固定する利得調整回路30を有する。
請求項（抜粋）：
被測定物に光ビームを照射する光ビーム照射手段と、前記被測定物からの反射光ビームを受光して、被測定物表面の変位に応じて一方が大きいときに他方が小さいという相補関係を持つ二つの出力信号を出す受光手段と、この受光手段の二つの出力信号をそれぞれ電圧値に変換する演算増幅器を用いた電流-電圧変換手段と、この電流-電圧変換手段の二つの出力電圧を演算処理して前記被測定物表面の変位に対応する出力を得るための、可変利得増幅器を含む演算処理手段と、前記被測定物がない状態で得られる前記電流-電圧変換手段の出力誤差を記憶してこれに基づいて前記電流-電圧変換手段の出力に誤差を相殺する電圧を加算するオフセット補償手段と、予備測定により前記可変利得増幅器の最適利得を判定して、本測定の間前記可変利得増幅器の利得を最適値に固定する利得制御手段とを有することを特徴とする光学的表面形状測定装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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